Полупроводниковая Quartz Bell Jar

Кварцевый колокольчик полупроводникового качества изготовлен из кварцевого материала высокой чистоты. Он обладает превосходной термической стабильностью и сильной коррозионной стойкостью и используется во многих областях. В полупроводниковой промышленности: Кварцевый колокол полупроводникового качества обеспечивает контролируемую среду для нанесения тонких пленок на пластины во время химического осаждения из паровой фазы (CVD). Кварцевый колокол полупроводникового качества также используется в процессах, требующих вакуумной технологии, таких как производство оптических покрытий, металлических покрытий и других типов тонкопленочных материалов. Кварцевый колокол полупроводникового качества также необходим во многих экспериментах по физике и материаловедению, требующих высокой чистоты и вакуумной изоляции.

Сценарии использования полупроводниковой индустрии:

Polysilicon - это кремниевый материал, состоящий из множества небольших зерен, который широко используется в интегрированных цепях, солнечных элементах и ​​других полях. Химическое осаждение паров (ССЗ) является одним из основных методов приготовления поликристаллического кремния. Основной принцип состоит в том, что газ из кремниевого источника, такой как SIH4, разлагается при высокой температуре и осаждается на подложке с образованием поликристаллического кремния:

SIHCL3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

В условиях высокой температуры и вакуума исходный газ кремния подавался в установку химического осаждения из паровой фазы. Наконец-то получен поликристаллический кремний. Кварцевый колокол полупроводникового качества является важной частью CVD-реактора поликристаллического кремния.

Реактор поликристаллического кремния сердечно -сосудистых

В условиях высокотемпературной реакции CVD полупроводниковый кварцевый колпак может обеспечить равномерную тепловую среду. Высокая термостойкость кварцевого материала высокой чистоты (выдерживает температуру до 1100°C) позволяет ему стабильно работать в реакциях CVD и обеспечивать равномерное распределение температуры в зоне реакции. В процессе CVD присутствует много токсичных газовых компонентов, таких как PH3 и т. д. Кварцевый колокол полупроводникового качества может эффективно изолировать химические газы в реакционной камере от внешней среды, чтобы предотвратить утечку вредных газов. Коррозионная стойкость кварцевого материала высокой чистоты также позволяет другим материалам стабильно работать в течение длительного времени в процессе CVD и не поддается коррозии или повреждению.

Кварцевая банка колокольчика используется в сочетании с трубкой сохранения кварца и вертикальной кварцевой лодкой и в основном используется в эпитаксиальном процессе полупроводниковой интегрированной цепной цепь. Эпитаксиальная печь, как правило, принимает вертикальную структуру, с кварцевой банкой колокола на внешней стороне вертикальной кварцевой лодки и трубкой сохранения тепла кварц в качестве поддержки.

Еще одно типичное применение кварцевого колокольного колокольного банки полупроводникового класса в среде высокой температуры: для нагрева партии ортодонтических частей до 704 ℃ в течение 1 секунды в инертной атмосфере для пайки:

В у Потек в Полупроводнике есть зрелая техническая команда. Независимо от того, какая форма или материал из кварцевой банки с высокой чистотой вам нужен, мы можем адаптировать ее для вас.

Vetek Semiconductor Products Shops: