TAC Cating Suber

Vetek SemiconductorTAC покрыткольцоРаботайте вместе в эпитаксиальном эпитаксиальном росте реактора карбида карбида LPE:

● Высокотемпературное сопротивление:Покрытие TACСубитель обладает отличной высокотемпературной сопротивлением, способной выдерживать экстремальные температуры до 1500 ° C вРеактор LPEПолем Это гарантирует, что оборудование и компоненты не деформируются или не повреждаются во время долгосрочной работы.

● Химическая стабильность: Появитель TAC Compector выступает исключительно хорошо в окружающей среде роста карбида кремния, эффективно защищая компоненты реактора от коррозийной химической атаки, тем самым продлевая срок службы.

● Тепловая стабильность: Появитель TAC обладает хорошей тепловой стабильностью, поддерживая морфологию поверхности и шероховатость, чтобы обеспечить однородность поля температуры в реакторе, что полезно для высококачественного роста эпитаксиальных слоев карбида кремния.

● Антимализация: Гладкая поверхность с покрытием TAC и превосходная производительность TPD (программированная температуру) может минимизировать накопление и адсорбцию частиц и примесей внутри реактора, предотвращая загрязнение эпитаксиальных слоев.

Таким образом, TAC, покрытый Pemptor и Ring, играют критическую защитную роль в эпитаксиальном реакторе карбида кремния LPE, обеспечивая долгосрочную стабильную работу оборудования и высококачественный рост эпитаксиальных слоев.