Продукты
Так -покрытие пьедестал
  • Так -покрытие пьедесталТак -покрытие пьедестал

Так -покрытие пьедестал

Покрытие TAC может противостоять высокой температуре 2200 ℃. Vetek Semiconductor обеспечивает высокую чистоту TAC Pating с примесями ниже 5 частей на час в Китае. Пьетка для опорной пьедестала TAC способна противостоять водороду аммиака, аргонина в реакционной камере эпитаксиального устройства. Это улучшает срок службы продукта. Вы предоставляете требования, мы предоставляем настройку.

Vetek Semiconductor - это производитель и поставщик China, который в основном производит CVD TAC Coating Pemptors, впускное кольцо, пластинку Chunck, обладатель с покрытием TAC, пластинку с поддержкой пьедестала TAC с многолетним опытом. Надеюсь построить с вами деловые отношения.


Керамика TAC имеет температуру плавления до 3880 ℃, высокая твердость (твердость MOHS 9 ~ 10), большая теплопроводность (22W · м-1· K−1), большая прочность на изгиб (340 ~ 400 МПа) и небольшой коэффициент термического расширения (6,6 × 10−6K−1) и показывать отличную термохимическую стабильность и отличные физические свойства. Он обладает хорошей химической и механической совместимостью с графитами и композиционными материалами C/C, поэтому покрытие TAC широко используется в аэрокосмической термозащите, росте монокристаллов и эпитаксиальных реакторах, таких как Aixtron, EPI -реактор LPE в полупроводнике. 


Графит с покрытием TAC обладает лучшей химической коррозионной стойкостью, чем чернила из чернил каменные каменные или графит с покрытием SIC, может использоваться стабильно при высокой температуре 2200 °, не реагирует со многими элементами металлов, является третьим поколением полупроводникового монокристаллического роста, эпитаксии и пластинного травления, сцены лучших производительности, может значительно повысить процесс и устойчивости, препараты, а также пластины. Он особенно подходит для выращивания монокристалля GAN или ALN в оборудовании MOCVD и монокристалле SIC в оборудовании PVT, и качество выращиваемого монокристалла, очевидно, улучшено.


Покрытие TAC и SIC покрытие запасных частей мы можем сделать:

TaC coating and SiC coating Spare parts


Параметр покрытия TAC:

Физические свойства покрытия TAC
ТАК Плотность покрытия 14.3 (г/см сегодня)
Конкретная излучательная способность 0.3
Коэффициент термического расширения 6.3 10-6/K
Твердость покрытия TAC (HK) 2000 HK
Сопротивление 1 × 10-5Ом*см
Тепловая стабильность <2500 ℃
Изменения размера графика -10 ~ -20UM
Толщина покрытия ≥20 ч. Типичное значение (35 мкл ± 10 м)


БотинокПолупроводниковая чип -эпитаксиальная отрасль промышленная цепочка промышленная цепочка:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


Это полупроводникТак -покрытие пьедесталПроизводственный магазин

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Горячие Теги: TaC Coating Pedestal Support Plate
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept