8-дюймовое верхнее кольцо из карбида кремния (SiC) с эпитаксиальным покрытием CVD

Основные характеристики 8-дюймового верхнего кольца SiC Epi

● Высокая чистота: минимум 99,9995%. Металл не мигрирует в эпи-слой. Это поддерживает концентрацию носителей пластин на должном уровне.

● Подавление частиц: структура CVD плотная. Никаких пор. Он не будет сбрасывать частицы во время работы инструмента. Таким образом, фабрики получают более высокие урожаи.

● Термостойкость: кольцо остается стабильным при температуре 1500°C. Низкий КТР (тепловое расширение) означает отсутствие деформации во время быстрых циклов нагрева/охлаждения.

● Химическая стабильность: Твердый CVD SiC устойчив к газам H2 и HCl. Он также устойчив к NH3. У него нет покрытия, которое можно было бы отслаивать. Он не ухудшается в суровых условиях сердечно-сосудистых заболеваний.

● Срок службы компонентов: Поверхность чрезвычайно твердая. Он выдерживает многократную химическую очистку HF/HCl. Это снижает частоту замены. Это также снижает общую стоимость владения фабрикой.

Технические характеристики

Равномерность толщины покрытия между партиями контролируется на уровне 10 мкм.

Приложения

Верхнее кольцо CVD SiC Epi широко используется в:

● Реакторы кремниевой эпитаксии (Si Epi).

● Эпитаксия карбида кремния (SiC Epi).

● Системы MOCVD

● Оборудование для CVD-осаждения.

Обычно в паре с:

● Суцепторы

● Вафельные носители

● Предварительный нагрев колец.

● Эпитактические реакторы

Почему стоит выбрать VETEK SiC Epi Top Ring?

● Полные производственные возможности: 

От очистки сырья до прецизионной обработки и нанесения CVD-покрытия, VETEK контролирует весь производственный процесс, чтобы обеспечить стабильное качество полупроводников.

● Высокая точность: 

Мы используем механическую обработку на микронном уровне. Толщина CVD очень однородна. Благодаря этому каждое кольцо работает одинаково.

Часто задаваемые вопросы

(1) Для чего предназначено верхнее кольцо SiC epi?

Кольцо управляет потоком тепла и газа. Это гарантирует, что тонкая пленка будет расти равномерно по пластине.

(2) Почему CVD SiC лучше графита?

Графит пористый. Графит имеет поры и выделяет газ. Твердый CVD SiC плотный и чистый. В коррозионно-активных инструментах он сохраняется гораздо дольше.

(3). Можно ли настроить верхнее кольцо SiC диаметром 8 дюймов?

Да. Мы изготавливаем инструменты по вашим чертежам. Мы можем настроить геометрию в соответствии с вашим процессом.

(4). В каких отраслях используются эпитаксионные кольца SiC?

Они в основном используются в производстве полупроводников, включая силовые устройства, радиочастотные устройства и производство пластин SiC.