Cvd TAC Cotating

Покрытие CVD TAC (химическое осаждение паров тантала карбида карбида) является продуктом покрытия, в основном состоит из карбида тантала (TAC). Покрытие TAC имеет чрезвычайно высокую твердость, износостойкость и высокотемпературную стойкость, что делает его идеальным выбором для защиты ключевых компонентов оборудования и повышения надежности процесса. Это незаменимый материал в полупроводниковой обработке.

Продукты CVD TaC Coating обычно используются в реакционных камерах, носителях пластин и оборудовании для травления и играют в них следующие ключевые роли.

Покрытие CVD TaC часто используется для внутренних компонентов реакционных камер, таких как подложки, стеновые панели и нагревательные элементы. В сочетании с превосходной устойчивостью к высоким температурам он может эффективно противостоять эрозии под воздействием высоких температур, агрессивных газов и плазмы, тем самым эффективно продлевая срок службы оборудования и обеспечивая стабильность процесса и чистоту производства продукции.

Кроме того, носители пластин, покрытые TAC (такие как кварцевые лодки, светильники и т. Д.) Также имеют превосходную термостойкость и химическую коррозионную устойчивость. Перевозчик пластин может обеспечить надежную поддержку пластины при высоких температурах, предотвратить загрязнение и деформацию пластины и, таким образом, улучшить общий выход чипа.

Кроме того, покрытие TAC Vetek Semiconductor также широко используется в различном оборудовании для осаждения в травлениях и тонкопленке, таких как плазменные травления, химические системы осаждения паров и т. Д. В этих системах обработки покрытие CVD TAC может противостоять высокоэнергетической бомбардировке и сильной химической реакции. , тем самым обеспечивая точность и повторяемость процесса.

Какими бы ни были ваши конкретные требования, мы будем соответствовать лучшему решению для ваших потребностей в покрытии CVD TAC и с нетерпением ждем вашей консультации в любое время.

Vetek Semiconductor Cvd TAC Product Shops:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике: