Графитный обогреватель горячей зоны

Графитные обогреватели горячей зоны Vetek полупроводники предназначены для обработки экстремальных условий, обнаруженных в высокотемпературных печи. Нагреватели способны выдерживать суровые среды, обычно встречающиеся в обработке высокой температуры, в зависимости от конкретных функций продукта, перечисленных ниже.

● Единое распределение температуры

Графитный нагреватель горячей зоны известен своими превосходными универсальными характеристиками нагрева, благодаря идеальной комбинации высокоостренной технологии выбора материала и точной обработки. Такая однородность обеспечивает плавное распределение температуры по всей поверхности нагрева, эффективно снижая неравномерную обработку пластин из -за тепловых градиентов, тем самым повышая выход продукта и консистенцию производительности оборудования.

● Отличная коррозионная стойкость

Нагреватель графита для горячей зоны демонстрирует сильную устойчивость к различным коррозионным газам и химическим веществам, встречающимся в процессах производства высокотемпературных полупроводников. Естественная инертность графитовых материалов позволяет графитовым нагревателям поддерживать долгосрочную стабильность в суровых средах, значительно снижая риск загрязнения и продление срока службы оборудования.

● Отличная производительность антиокисления

По сравнению с традиционными графитовыми материалами, графитовый нагреватель горячей зоны по-прежнему обладает отличной антиоксидийной способностью при высоких температурах. Эта особенность имеет решающее значение для предотвращения окислительного ухудшения поверхности нагревателя во время высокотемпературной обработки и избежать генерации загрязнения частиц в камере обработки, обеспечивая дальнейшую эффективную работу оборудования.

● Ультра-высокая химическая чистота

После строгой обработки наш нагреватель графита достиг чрезвычайно высокого уровня химической чистоты, эффективно предотвращая внедрение вредных примесей в среду полупроводниковой обработки. Эта чистота имеет решающее значение для защиты целостности точных полупроводниковых материалов и производства устройств, которые соответствуют ожидаемым электрическим и оптическим свойствам.

● Высокая механическая прочность и стабильность

Графитный нагреватель горячей зоны Veteksemicon имеет превосходную механическую прочность и размерную стабильность, поддерживая структурную целостность даже в высокотемпературных условиях эксплуатации. Будь то частые тепловые циклы или тяжелое механическое напряжение, графитовые обогреватели для горячей зоны сохраняют свою надежность и обеспечивают твердую и надежную поддержку для жестких средампроводниковых сред.

Кроме того, Veteksemicon также предлагает множество пользовательских размеров и конфигураций графитовых нагревателей для удовлетворения потребностей различных процессов производства полупроводников. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.