керамический нагреватель карбида из карбида карбида

Это полупроводникКерамический нагреватель из карбида кремния - это обогреватель, предназначенный для высокой температуры и суровой среды. Он покрывает слой кремниевого углеродного керамического покрытия (sic) на поверхности нагревательного элемента, чтобы придать оборудованию превосходную теплостойкость, коррозионную стойкость и теплопроводность. 

Керамический нагреватель карбида из карбида карбидав основном используется в оборудовании вакуумного покрытия (испарение). Обычно используемыми методами являются PCD (химическая сушка в плазме) и PVD (физическое осаждение паров), которые широко используются в производстве полупроводников и других промышленных применениях с высоким спросом.

В сочетании с высокопроизводительным конструкцией покрытия на обогреватель керамического покрытия кремниевого керамического покрытия,он может обеспечить отличный нагревающий раствор для высокотемпературных процессов.

Отличная теплопроводность: Материал SIC обладает отличной теплопроводности, гарантируя, что обогреватель сможет достичь равномерного распределения тепла в рабочей зоне и снизить градиенты температуры.

Обеспечить равномерное распределение тепла: Керамический нагреватель из карбида кремния использует высокую теплопроводность материала SIC для достижения равномерного распределения температуры по всей площади нагрева. Это имеет решающее значение для обеспечения однородной термообработки полупроводников в различных высокотемпературных процессах, таких как быстрая тепловая обработка (RTP), диффузия и окисление, предотвращение дефектов продукта, вызванных локальным перегревом или неравномерной температурой.

Высокая температурная толерантность: SIC Cotent позволяет нагревателю выдерживать чрезвычайно высокие температуры, как правило, до 1600 ° C, подходящих для различных высокотемпературных процессов обработки.

Улучшить теплостойкость: Поскольку покрытие может противостоять чрезвычайно высоким температурам, оно хорошо работает в процессах, которые требуют долгосрочной высокотемпературной работы. Например, в процессах химического осаждения паров (CVD) нагреватель карбида из карбида карбида карбида может обеспечить долгосрочную стабильную работу оборудования при высоких температурах и поддерживать постоянные характеристики нагрева, тем самым повышая повторяемость процесса и надежность.

Химическая коррозионная устойчивость: SIC Covert имеет чрезвычайно высокую устойчивость к кислоте, щелочим и коррозионным газам и может долго оставаться стабильным в сложной среде химической атмосферы, продлевая срок службы оборудования. 

Продление срока службы оборудования: SIC Covert имеет превосходную устойчивость к окислению и коррозионную устойчивость и может эффективно противостоять химической эрозии и окислению при высоких температурах. Это очень важно в процессе производства полупроводников, особенно в среде, которая обрабатывает коррозионные газы и химические вещества. Защитный эффект покрытия может значительно продлить срок службы нагревателя и снизить частоту замены и технического обслуживания оборудования.

Основные физические свойства нагревателя керамического покрытия из карбида кремния:

Vetek полупроводниковые керамические керамические нагреватели карбида карбида:

Обзор цепочки отрасли промышленности Epitaxy Vetek Semiconductor: