Керамический нагреватель карбида из карбида карбида графического покрытия

Это полупроводник Керамический нагреватель карбида из карбида карбида графического покрытияСочетает превосходную электрическую и теплопроводность графита с высокой температурной сопротивлением, коррозионной стойкостью и износостойкостью кремниевого углеродного керамического покрытия и предназначена для суровых полупроводников. 

Керамический нагреватель карбида из карбида карбида графического покрытияв основном используется в оборудовании вакуумного покрытия (испарение), а используемые методы являются PCD (химическая сушка в плазме) и PVD (физическое осаждение пара). Этот продукт сыграл важную роль в продвижении технологического прогресса и повышения эффективности производства в полупроводниковой промышленности.Мы искренне с нетерпением ждем дальнейшего сотрудничества с вами.

Материал и структурные особенности карбинного карбидного керамического нагревателя графического покрытия следующие:

Графитный субстрат: Графит известен своей высокой теплопроводностью и низким коэффициентом термического расширения. Он может быстро реагировать на изменения температуры и поддерживать структурную стабильность при высоких температурах.

Кремниевое углеродное керамическое покрытие: Покрытие SIC равномерно покрывается на поверхности графита посредством химического отложения паров или других передовых процессов. SIC обладает чрезвычайно высокой твердостью и химической коррозионной устойчивостью, которая может защитить графитовый субстрат от высокотемпературного окисления и коррозийных сред.

Специальная конструктивная конструкция конструкции из карбинга -керамического нагревателя карбидного покрытия определяетНевозможные продукты преимущества этого продукта в процессе полупроводниковой обработки:

Эффективное и равномерное нагревание:

Теплопроводность: Высокая теплопроводность графита позволяет нагревателю быстро достигать и поддерживать необходимую температуру, а покрытие SIC обеспечивает равномерное распределение тепла. Это особенно важно для полупроводниковых процессов, которые требуют точного контроля температуры, таких как быстрая тепловая обработка (RTP) и химическое осаждение паров (CVD).

Температурная равномерность: Благодаря равномерному распределению тепла, графитовый нагреватель из карбида из карбида из карбида карбида может эффективно снизить тепловое напряжение и градиент температуры, обеспечивая консистенцию и стабильность качества полупроводниковых пластин на протяжении всего процесса нагрева.

Защита от коррозии:

Химическая устойчивость: Химическая коррозионная устойчивость к покрытию SIC позволяет нагревателю работать стабильно и в течение длительного времени в коррозионном газе и химической среде, избегая повреждения графитового субстрата. Эта особенность особенно важна в таких процессах, как химическое осаждение паров (ССЗ) и усиление в плазме химическое осаждение паров (PECVD).

Устойчивость к окислению: При высоких температурах покрытие SIC может предотвратить окисление графитового субстрата, продлить срок службы нагревателя и снизить частоту и стоимость технического обслуживания оборудования.

Уменьшить загрязнение частиц:

Поверхностная стабильность: SIC Covert не только устойчиво к износу, но также предотвращает падение частиц с поверхности материала из-за термоциклирования или химических реакций, тем самым снижая риск загрязнения частиц, который может возникнуть во время производства полупроводников и обеспечивая среду процесса высокого чистости.

Повысить надежность и эффективность процесса:

Длинный дизайн: Из-за комбинации механической прочности графита и износостойкой устойчивости к нагреванию SIC кремниевого карбида карбида, нагревателя графита, может долго поддерживать высокоэффективную работу в течение длительного времени в жестких условиях процесса, значительно повышая общую надежность оборудования.

Эффективное использование энергии: Высокая теплопроводность графита и высокотемпературная стабильность покрытия SIC позволяют нагревателю снижать энергопотребление при повышении точности контроля температуры, тем самым повышая общую эффективность производства полупроводников.

Базовые физические свойстваКерамический нагреватель карбида из карбида карбида графического покрытия:

Это полупроводникКерамический нагреватель карбида из карбида карбида графического покрытиямагазины:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике.:

/Другой процесс