Керамическое покрытие из карбида кремния

Это полупроводник Керамическое покрытие из карбида кремнияявляется высокопроизводительным защитным покрытием из чрезвычайно твердого и износостойкого кремниевого карбида (SIC) материала, который обеспечивает превосходную химическую коррозионную устойчивость и высокую стабильность температуры. Эти свойства имеют решающее значение при полупроводниковом производстве, поэтому кремниевое карбид -керамическое покрытие широко используется для ключевых компонентов оборудования для производства полупроводников.

Специфическая роль, которую играет полупроводниковые керамические керамические покрытия в полупроводнике в полупроводнике.следующее:

Повысить долговечность оборудования: Керамическое покрытие из карбина кремния обеспечивает отличную защиту поверхности для полупроводникового производственного оборудования с чрезвычайно высокой твердостью и износостойкой. Особенно в высокотемпературных средах, высоко коррозийных процессах, таких как химическое осаждение пара (ССЗ) и травление в плазме, кремниевое карбид-керамическое покрытие, могут эффективно предотвратить повреждение поверхности оборудования из-за химической эрозии или физического износа, тем самым значительно продлевая срок службы оборудования и сокращение простоя, вызванное частоты частоты и обслуживания.

Улучшить чистоту процесса: В процессе производства полупроводников любое крошечное загрязнение может вызвать дефекты продукта. Химическая инертность кремниевого карбидного керамического покрытия позволяет ему оставаться стабильным в экстремальных условиях, предотвращать выпуск материала или примесей и обеспечивать чистоту окружающей среды во время процесса. Это особенно важно для производственных этапов, которые требуют высокой точности и высокой чистоты, такой как PECVD и ионная имплантация.

Оптимизировать тепловое управление: При высокотемпературной полупроводниковой обработке, такой как быстрая тепловая обработка (RTP) и процессы окисления, высокая теплопроводности кремниевого карбидного керамического покрытия обеспечивает равномерное распределение температуры внутри оборудования. Это помогает уменьшить тепловое напряжение и деформацию материала, вызванную колебаниями температуры, тем самым повышая точность и согласованность производства продукта.

Поддержать сложную среду процесса: В процессах, которые требуют сложного контроля атмосферы, таких как процессы травления ICP и травления PSS, устойчивость к стабильности и окислению нагревателя карбида кремниевого карбида керамического покрытия обеспечивает стабильную производительность оборудования в долгосрочной работе, снижая риск деградации материала или повреждения оборудования из-за изменений в окружающей среде.

Это полупроводникфокусируется на производстве и поставке высокой производительностиКерамическое покрытие из карбида кремнияи стремится предоставить передовые технологии и решения для продуктов для полупроводниковой промышленности.Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Базовые физические свойстваКерамическое покрытие из карбида кремния:

Это полупроводник Silicon Carbide Ceramic Shop:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике.: