Твердое сфокусирование

Компания VeTek Semiconductor добилась большого прогресса в технологии CVD Solid SiC и теперь может производить фокусирующее кольцо для травления Solid SiC на мировом уровне. Фокусирующее кольцо VeTek Semiconductor из твердого SiC для травления представляет собой продукт из карбида кремния сверхвысокой чистоты, созданный в процессе химического осаждения из паровой фазы.

Фокусирующее кольцо из твердого SiC для травления используется в процессах производства полупроводников, особенно в системах плазменного травления. Кольцо фокусировки SiC является важнейшим компонентом, который помогает добиться точного и контролируемого травления пластин карбида кремния (SiC).

Во время процесса травления в плазме фокусное кольцо играет несколько ролей следующим образом:

● Фокусируя плазму: Твердое травление SIC, фокусирующее, помогает формировать и концентрировать плазму вокруг пластины, гарантируя, что процесс травления происходит равномерно и эффективно. Это помогает ограничить плазму до желаемой области, предотвращая переплетение травления или повреждения окружающих регионов.

●  Защита стен камеры: Кольцо с фокусировкой действует как барьер между плазмой и стенками камеры, предотвращая прямой контакт и потенциальный ущерб. SIC очень устойчив к эрозии плазмы и обеспечивает отличную защиту для стен камеры.

●  Tконтроль температуры: Кольцо Focus SIC помогает поддерживать равномерное распределение температуры по пластине во время процесса травления. Это помогает рассеять тепло и предотвращает локализованное перегрев или тепловые градиенты, которые могут повлиять на результаты травления.

Твердый SiC выбран для фокусирующих колец из-за его превосходной термической и химической стабильности, высокой механической прочности и устойчивости к плазменной эрозии. Эти свойства делают SiC подходящим материалом для суровых условий внутри систем плазменного травления.

Стоит отметить, что проектирование и спецификации фокусирующих колец могут варьироваться в зависимости от конкретной системы травления плазмы и требований к процессу. Vetek Semiconductor оптимизирует форму, размеры и характеристики поверхности фокусирующих колец для обеспечения оптимальной производительности травления и долговечности. Твердый SIC широко используется для носителей пластин, чувствительных, фиктивных пластин, направляющих колец, деталей для процесса травления, процесса сердечно -сосудистых заболеваний и т. Д.