Продукты
Продукты
Трехчастные графитовые тигли
  • Трехчастные графитовые тиглиТрехчастные графитовые тигли
  • Трехчастные графитовые тиглиТрехчастные графитовые тигли

Трехчастные графитовые тигли

Для требовательных задач по выращиванию полупроводниковых кристаллов трехкомпонентный графитовый тигель VETEK обеспечивает стабильность, чистоту и термическую равномерность, необходимые для процесса. Изготовленный из высококачественного изостатического графита с дополнительными покрытиями SiC, TaC или PyC, его разделенная конструкция предназначена не только для удобства. Он активно снижает термическую нагрузку, ускоряет техническое обслуживание и сохраняет работоспособность цикл за циклом.

Ключевые особенности
· Изостатический графит высокой чистоты с зольностью не более 5 ppm после очистки.

· Модульная конструкция, состоящая из трех частей, минимизирует тепловые нагрузки и продлевает срок службы.

· Отличная теплопроводность для стабильного распределения температуры.

· Выдающаяся стойкость к термическому удару при многократном нагреве и охлаждении.

· Совместимость с дополнительными покрытиями CVD SiC, TaC и PyC.

· Прецизионная обработка на станке с ЧПУ обеспечивает жесткие допуски на размеры.

· Возможны нестандартные размеры и конструкции по чертежам заказчика.


Технические характеристики

Физические свойства изостатического графита
Свойство
Единица
Типичное значение
Объемная плотность
г/см³
1.83
Твердость
HSD
58
Электрическое сопротивление
мкОм.м
10
изгибная прочность
МПа
47
Прочность на сжатие
МПа
103
Предел прочности
МПа
31
Модуль Юнга
ГПа
11.8
Тепловое расширение (КТР)
10-6К-1
4.6
Теплопроводность
Вт·м-1·К-1
130
Средний размер зерна
мкм
8-10
Пористость
%
10
Содержание пепла
ppm
≤5 (после очистки)

Приложения
· PVT-выращивание кристаллов SiC

· Полупроводниковые тепловые системы

· Печи для выращивания кристаллов

· Высокотемпературные вакуумные печи

· Рост кристаллов сложных полупроводников

· Полупроводниковое научно-исследовательское оборудование


Почему стоит работать с ВЕТЭК?

· Полное собственное производство от очистки графита до нанесения покрытия.

· Передовая обработка с ЧПУ и контроль качества полупроводникового уровня.

· Дополнительные технологии покрытия SiC, TaC и PyC.

· Изготовление на заказ по чертежам или моделям оборудования.

· Стабильные глобальные поставки и надежная техническая поддержка.


Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Мы используем файлы cookie, чтобы предложить вам лучший опыт просмотра, анализировать трафик сайта и персонализировать контент. Используя этот сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов cookie. политика конфиденциальности
ОтклонятьПринимать