Продукты
Трехчастные графитовые тигли
  • Трехчастные графитовые тиглиТрехчастные графитовые тигли
  • Трехчастные графитовые тиглиТрехчастные графитовые тигли

Трехчастные графитовые тигли

Для требовательных задач по выращиванию полупроводниковых кристаллов трехкомпонентный графитовый тигель VETEK обеспечивает стабильность, чистоту и термическую равномерность, необходимые для процесса. Изготовленный из высококачественного изостатического графита с дополнительными покрытиями SiC, TaC или PyC, его разделенная конструкция предназначена не только для удобства. Он активно снижает термическую нагрузку, ускоряет техническое обслуживание и сохраняет работоспособность цикл за циклом.

Ключевые особенности
· Изостатический графит высокой чистоты с зольностью не более 5 ppm после очистки.

· Модульная конструкция, состоящая из трех частей, минимизирует тепловые нагрузки и продлевает срок службы.

· Отличная теплопроводность для стабильного распределения температуры.

· Выдающаяся стойкость к термическому удару при многократном нагреве и охлаждении.

· Совместимость с дополнительными покрытиями CVD SiC, TaC и PyC.

· Прецизионная обработка на станке с ЧПУ обеспечивает жесткие допуски на размеры.

· Возможны нестандартные размеры и конструкции по чертежам заказчика.


Технические характеристики

Физические свойства изостатического графита
Свойство
Единица
Типичное значение
Объемная плотность
г/см³
1.83
Твердость
HSD
58
Электрическое сопротивление
мкОм.м
10
изгибная прочность
МПа
47
Прочность на сжатие
МПа
103
Предел прочности
МПа
31
Модуль Юнга
ГПа
11.8
Тепловое расширение (КТР)
10-6К-1
4.6
Теплопроводность
Вт·м-1·К-1
130
Средний размер зерна
мкм
8-10
Пористость
%
10
Содержание пепла
ppm
≤5 (после очистки)

Приложения
· PVT-выращивание кристаллов SiC

· Полупроводниковые тепловые системы

· Печи для выращивания кристаллов

· Высокотемпературные вакуумные печи

· Рост кристаллов сложных полупроводников

· Полупроводниковое научно-исследовательское оборудование


Почему стоит работать с ВЕТЭК?

· Полное собственное производство от очистки графита до нанесения покрытия.

· Передовая обработка с ЧПУ и контроль качества полупроводникового уровня.

· Дополнительные технологии покрытия SiC, TaC и PyC.

· Изготовление на заказ по чертежам или моделям оборудования.

· Стабильные глобальные поставки и надежная техническая поддержка.


Горячие Теги: Трехчастные графитовые тигли, графитовый трехлепестковый тигель, полупроводниковый графитовый тигель, тигель для выращивания кристаллов SiC, графитовый тигель PVT, графитовый тигель высокой чистоты, тигель изостатического графита, термическое поле для выращивания кристаллов, VETEK
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
Мы используем файлы cookie, чтобы предложить вам лучший опыт просмотра, анализировать трафик сайта и персонализировать контент. Используя этот сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов cookie.политика конфиденциальности
ОтклонятьПринимать