Кольцо с покрытием PG (пиролитический графит)

Ключевые особенности

• Сверхвысокая теплопроводность. Плоская теплопроводность пиролитического графита может достигать 1000–1800 Вт/м·К, что означает быстрое и равномерное распространение тепла по кольцу.

• Превосходная стабильность теплового поля. Конструкция естественным образом снижает температурные градиенты и подавляет локальные горячие точки даже в сложных высокотемпературных системах.

• Превосходная стойкость к термическому удару. Благодаря низкому коэффициенту теплового расширения кольцо сохраняет свою форму при повторяющихся циклах нагрева и охлаждения без деформации.

• Устойчивость к высоким температурам – он надежно работает в инертной атмосфере при температуре выше 2500°C.

• Высокая чистота, низкий уровень загрязнения – углеродные слои, полученные методом CVD, исключительно чисты, сводят к минимуму металлические примеси и выпадение частиц.

• Длительный срок службы. Улучшенное управление температурным режимом замедляет износ материала, что позволяет увеличить срок службы каждой детали.

• Индивидуальный дизайн. Мы предлагаем широкий выбор диаметров, толщин и характеристик покрытия, подходящих для различных полупроводниковых инструментов и технологических потребностей.

Кольцо с покрытием PG и кольцо с покрытием PyC

Выбирайте PG, если вашими главными приоритетами являются теплопроводность и однородность температуры.

Выбирайте PyC, если вас больше волнуют устойчивость к коррозии, минимальное образование частиц и экономическая эффективность.

Приложения

Эти кольца с PG-покрытием уже используются в широком спектре оборудования, в том числе:

• PVT системы выращивания кристаллов SiC

• Полупроводниковые тепловые полевые сборки

• Инструменты для выращивания кристаллов SiC

• Высокотемпературные вакуумные печи

• Системы быстрой термической обработки (RTP)

• Печи для отжига

• Диффузионные печи

• Защитные конструкции нагревателя

• Тепловые экраны

• Теплоизоляционные пакеты

• И другие сверхвысокотемпературные полупроводниковые процессы.

Почему стоит работать с ВЕТЭК?

• Мы не являемся посредниками — все, от обработки графита до окончательного нанесения покрытия, выполняется на наших собственных мощностях.

• Наши собственные возможности включают очистку, обработку на станках с ЧПУ, нанесение покрытия и полную проверку — и все это под одной крышей.

• У нас глубокие знания в области полупроводниковых материалов и силовой электроники, поэтому мы понимаем реальные требования ваших процессов.

• Наш портфель покрытий включает SiC, TaC, PyC и специальные конструкции теплового поля — мы не ограничиваемся одной технологией.

• Вам нужно индивидуальное решение? Просто поделитесь своими чертежами или моделью оборудования, и наша команда инженеров будет работать с вами напрямую.

• Мы поддерживаем стабильную цепочку поставок и своевременную доставку для клиентов по всему миру.

• Итог: мы предлагаем единый надежный источник полупроводниковых компонентов теплового поля и современных материалов на основе углерода, от концепции до производства.