Продукты
Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)
  • Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)

Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)

В установках для выращивания кристаллов SiC PVT графитовые детали эксплуатируются при очень высоких температурах в течение длительного времени. Графитовое кольцо VeTek с покрытием PyC создано для таких задач. Слой пиролитического углерода наносится на графит высокой чистоты методом CVD. Это обеспечивает лучшую стабильность поверхности детали и меньшее количество частиц, отрывающихся во время работы. Обычно его помещают в зону теплового поля, чтобы управлять потоком пара и распространением тепла внутри печи. Покрытие также замедляет сублимацию графита при температуре выше 2200°C, что продлевает срок службы всего компонента.

1. Характеристики продукта

Плотное, беспористое PyC-покрытие: образует однородный, плотный слой, который снижает газопроницаемость и загрязнение частицами во время роста кристаллов.
Хорошо выдерживает высокие температуры: сохраняет структурную целостность в вакууме или инертном газе при температуре выше 2200°C.
● Очень высокая чистота: изготовлен из очищенного графита.плюс CVD высокой чистоты, поэтому уровень примесей остается сверхнизким.
Хорошая устойчивость к термическому удару: низкое тепловое расширение означает, что он требует быстрого нагрева и охлаждения без растрескивания.
Повышенная коррозионная стойкость: защищает графитовую подложку от химического воздействия и высокотемпературной сублимации.повреждать.
Более длительный срок службы: служат намного дольше, чем графитовые кольца без покрытия, поэтому вам не придется так часто обслуживать печь.

Эффект пиролитического углеродного покрытия под 500-кратным микроскопом с неповрежденной и герметичной поверхностью.


2. Технические характеристики
Элемент
Единица
Типичное значение
Кристаллическая структура

Шестиугольный
Выравнивание

Ориентирован или неориентирован по направлению 001.
Объемная плотность
г/см³
~2,26
Микроструктура

Поликристаллический/многослойный графен
Твердость
ГПа
1.4
Модуль упругости
ГПа
11
Типичная толщина покрытия
мкм
20–110
Шероховатость поверхности
мкм
1.5
Чистота продукта
ppm
≤5 частей на миллион


3. Приложения

Графитовое кольцо с покрытием PyC широко используется в:

● Печи для выращивания монокристаллов SiC (метод PVT).
● Системы теплового поля для полупроводников третьего поколения.
● Изоляционные конструкции для выращивания кристаллов при высоких температурах.
● Системы направления потока пара.
● Компоненты высокотемпературных вакуумных печей. Полупроводниковые системы терморегулирования.


4. Возможности производства полупроводников VeTek

VeTek Semiconductor специализируется на передовых материалах для покрытий и гр.Афитовые тепловые полевые детали для SiC и других полупроводниковых применений. Вот что мы делаем:

● Очистка графита высокой чистоты.
● Прецизионная обработка на станке с ЧПУ.
● Усовершенствованное покрытие CVD PyC.
● Производство крупногабаритных термополевых компонентов.
● Индивидуальные решения для тепловых полей.
● Строгий контроль качества полупроводников. Мы также изготавливаем графитовые детали с покрытием PyC на заказ на основе ваших чертежей или конфигураций печей.




Горячие Теги: Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием, Графитовое кольцо с покрытием PyC, Кольцо для выращивания кристаллов SiC, Графитовое кольцо для печи PVT, Компонент теплового поля полупроводника, Графитовое кольцо высокой чистоты, Покрытие CVD PyC, Детали для выращивания монокристаллов SiC, Графитовое направляющее кольцо потока, Высокотемпературный графитовый компонент
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
Мы используем файлы cookie, чтобы предложить вам лучший опыт просмотра, анализировать трафик сайта и персонализировать контент. Используя этот сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов cookie.политика конфиденциальности
ОтклонятьПринимать