Продукты
Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)
  • Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)

Графитовое кольцо с пиролитическим углеродным покрытием (PyC)

В установках для выращивания кристаллов SiC PVT графитовые детали эксплуатируются при очень высоких температурах в течение длительного времени. Графитовое кольцо VeTek с покрытием PyC создано для таких задач. Слой пиролитического углерода наносится на графит высокой чистоты методом CVD. Это обеспечивает лучшую стабильность поверхности детали и меньшее количество частиц, отрывающихся во время работы. Обычно его помещают в зону теплового поля, чтобы управлять потоком пара и распространением тепла внутри печи. Покрытие также замедляет сублимацию графита при температуре выше 2200°C, что продлевает срок службы всего компонента.

1. Характеристики продукта

● Плотное, беспористое PyC-покрытие: образует однородный, плотный слой, который снижает газопроницаемость и загрязнение частицами во время роста кристаллов.
● Хорошо выдерживает высокие температуры: сохраняет структурную целостность в вакууме или инертном газе при температуре выше 2200°C.
● Очень высокая чистота: изготовлен из очищенного графита.плюс CVD высокой чистоты, поэтому уровень примесей остается сверхнизким.
● Хорошая устойчивость к термическому удару: низкое тепловое расширение означает, что он требует быстрого нагрева и охлаждения без растрескивания.
● Повышенная коррозионная стойкость: защищает графитовую подложку от химического воздействия и высокотемпературной сублимации.повреждать.
● Более длительный срок службы: служат намного дольше, чем графитовые кольца без покрытия, поэтому вам не придется так часто обслуживать печь.

Эффект пиролитического углеродного покрытия под 500-кратным микроскопом с неповрежденной и герметичной поверхностью.


2. Технические характеристики
Элемент
Единица
Типичное значение
Кристаллическая структура
—
Шестиугольный
Выравнивание
—
Ориентирован или неориентирован по направлению 001.
Объемная плотность
г/см³
~2,26
Микроструктура
—
Поликристаллический/многослойный графен
Твердость
ГПа
1.4
Модуль упругости
ГПа
11
Типичная толщина покрытия
мкм
20–110
Шероховатость поверхности
мкм
1.5
Чистота продукта
ppm
≤5 частей на миллион


3. Приложения

Графитовое кольцо с покрытием PyC широко используется в:

● Печи для выращивания монокристаллов SiC (метод PVT).
● Системы теплового поля для полупроводников третьего поколения.
● Изоляционные конструкции для выращивания кристаллов при высоких температурах.
● Системы направления потока пара.
● Компоненты высокотемпературных вакуумных печей. Полупроводниковые системы терморегулирования.


4. Возможности производства полупроводников VeTek

VeTek Semiconductor специализируется на передовых материалах для покрытий и гр.Афитовые тепловые полевые детали для SiC и других полупроводниковых применений. Вот что мы делаем:

● Очистка графита высокой чистоты.
● Прецизионная обработка на станке с ЧПУ.
● Усовершенствованное покрытие CVD PyC.
● Производство крупногабаритных термополевых компонентов.
● Индивидуальные решения для тепловых полей.
● Строгий контроль качества полупроводников. Мы также изготавливаем графитовые детали с покрытием PyC на заказ на основе ваших чертежей или конфигураций печей.




Горячие Теги:
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Мы используем файлы cookie, чтобы предложить вам лучший опыт просмотра, анализировать трафик сайта и персонализировать контент. Используя этот сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов cookie. политика конфиденциальности
ОтклонятьПринимать