Обогреватель TAC

Нагреватель для покрытия TAC является высокопроизводительным нагревательным элементом, широко используемым в процессах производства полупроводников. Его поверхность покрыта карбидом тантала (TAC), который дает нагреватель превосходную высокотемпературную устойчивость, химическую коррозионную стойкость и превосходную теплопроводность.

Основные области применения нагревателя покрытия TaC в производстве полупроводников включают в себя:

 ✔ В процессе эпитаксиального выращивания нитрида галлия (GaN) нагреватель покрытия TaC обеспечивает точно контролируемую высокотемпературную среду, гарантирующую, что эпитаксиальный слой наносится на подложку с равномерной скоростью и высоким качеством. Его стабильная тепловая мощность помогает добиться точного контроля тонкопленочных материалов, тем самым улучшая производительность устройства.

 ✔ Более того, в процессе металлического химического осаждения паров (MOCVD) в сочетании с высокотемпературной сопротивлением и теплопроводности покрытия TAC, обогреватель для покрытия TAC обычно используется для нагрева реакционного газа и путем обеспечения равномерного распределения тепла, ИТ способствует его химической реакции на поверхности субстрата, тем самым улучшая однородность эпитаксиального слоя и образуя высококачественную пленку.

 ✔ Как лидер отрасли в области продуктов нагревателя TAC, Vetek Semiconducto всегда поддерживает услуги по настройке продуктов и удовлетворительные цены на продукцию. Независимо от того, каковы ваши конкретные требования, мы сопоставляем лучшее решение для ваших потребностей нагревателя для покрытия TAC и с нетерпением ждем вашей консультации в любое время.