Пластина вращения покрытия TAC

Пластина Vetek Semiconductor Cotation Satting Plate имеет высокую чистоту композицию, содержание примесей менее 5 частей на час и плотную и равномерную структуру, которая широко используется в системах LPE EPI, системах AIXTRON, NUFLARE Systems, TEL CVD -системах, системах VEECO, TSI Systems.

● Отличные механические свойства:

Твердость покрытия до 2300HV, с отличной износостойкой.

Адгезия между покрытием и подложкой сильна, и нелегко упасть или очистить.

Покрытие все еще может поддерживать хорошую структурную стабильность при высокой температуре.

●  Отличная коррозионная стойкость:

Сам материал TAC обладает отличной химической стабильностью и коррозионной стойкостью.

Покрытия Vetek Semiconductor хорошо работают в различных агрессивных газовых условиях.

Может эффективно защитить внутренние компоненты оборудования от коррозионного повреждения.

● Высокая поверхностная отделка:

Vetek Semiconductor использует точный процесс покрытия для получения желаемой отделки.

Низкая шероховатость поверхности помогает уменьшить накопление и осаждение частиц.

● Последовательность покрытия хороша:

Vetek Semiconductor имеет систему управления качеством звука, чтобы обеспечить постоянную производительность между партиями.

Толщина покрытия равномерно распределена, и нет очевидных местных дефектов.

● Отличная практическая производительность применения:

Покрытие TAC Vetek Semiconductor широко используется во многих известных производителях эпитаксиального оборудования в домашних условиях и за рубежом.

Продукт Физический параметр пластины вращения с покрытием TAC:

Карбидовое покрытие тантала на микроскопическом поперечном сечении