Графитовое вафельное кольцо с покрытием TaC

Основные технические преимущества

• Исключительная химическая стойкость: Разработан, чтобы выдерживать агрессивные травильные газы (H₂, NH₃, HCl) при температурах от 1200°C до 2000°C.

• Согласование теплового расширения: Наш запатентованный процесс CVD гарантирует, что покрытие TaC имеет оптимизированный КТР (коэффициент теплового расширения), соответствующий графитовой подложке, предотвращая отслаивание или растрескивание во время быстрого термоциклирования.

• Превосходный контроль частиц: Полностью герметизируя пористый графит, слой TaC исключает осыпание частиц, напрямую увеличивая выход пластин и сокращая время простоя реактора.

• Увеличенный срок службы: Поверхность с высокой износостойкостью, выдерживающая многократные циклы очистки, что обеспечивает значительно более низкую стоимость владения (CoO) по сравнению с альтернативами без покрытия или с покрытием SiC.

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении

Параметры продукта защитного кольца из графитовой пластины с покрытием TaC

Почему стоит выбрать наши накладные кольца TaC?

Мы понимаем, что в производстве полупроводников надежность равна прибыльности. Наши графитовые вафельные покрытия с покрытием TaC проходят серийные испытания на плотность и чистоту покрытия. Независимо от того, переходите ли вы с производства 6-дюймовых пластин на 8-дюймовые или оптимизируете высокотемпературный процесс MOCVD, наши кольца обеспечивают тепловую и химическую защиту, необходимую для эпитаксии мирового класса.