Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

TAC Coating Tube

TAC TAC Coating Tube Vetek Semiconductor является ключевым компонентом для успешного роста монокристаллов карбида кремния. Благодаря высокотемпературной устойчивостью, химической инертности и превосходной производительности, которая обеспечивает производство высококачественных кристаллов с постоянными результатами. Доверьте нашим инновационным решениям по улучшению процесса роста кристаллов PVT и достижения отличных результатов. Получите расследование нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Cotating запасная часть

Покрытие TAC в настоящее время используется в основном в таких процессах, как рост монокристаллов из карбида кремния (метод PVT), эпитаксиальный диск (включая эпитаксию карбида кремния, светодиодная эпитаксика) и т. Д. В сочетании с хорошей стабильностью долгосрочной стабильности на пластине для покрытия TAC VetekSemicon стала резюме для запасных запчастей TAC. Мы с нетерпением ждем, что вы станете нашим долгосрочным партнером.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Ган на приемнике EPI

Gan On SIC EPI Repector играет жизненно важную роль в обработке полупроводников благодаря своей превосходной теплопроводности, высокотемпературной способности и химической стабильности и обеспечивает высокую эффективность и качество материала процесса эпитаксиального роста GAN. Vetek Semiconductor - профессиональный производитель China Professional Gan On SIC EPI Repector, мы искренне с нетерпением ждем вашей дальнейшей консультации.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Cvd TAC Catingater Caturier

CVD TAC Cating Caterier в основном предназначен для эпитаксиального процесса производства полупроводников. Ультра-высокая температура плавления с CVD TAC, превосходная коррозионная стойкость и выдающаяся тепловая стабильность определяют незаменимость этого продукта в полупроводниковом эпитаксиальном процессе. Добро пожаловать в свой дальнейший запрос.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Графитовая ствольная коробка с покрытием TaC

Графитовый токоприемник с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor использует метод химического осаждения из паровой фазы (CVD) для подготовки покрытия из карбида тантала на поверхности графитовых деталей. Этот процесс является наиболее зрелым и имеет лучшие свойства покрытия. Графитовый токоприемник с покрытием TaC может продлить срок службы графитовых компонентов, замедлить миграцию графитовых примесей и обеспечить качество эпитаксии. Мы с нетерпением ждем вашего запроса.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Cating Suber

Полупроводник Vetek представляет Repector Covert Satter, с его исключительным покрытием TAC, этот восприим предлагает множество преимуществ, которые отличают его от обычных решений. Интеграция бесшовного в существующие системы, восприимчивший на TAC от полупроводникового обеспечения Vetek. Его надежная производительность и высококачественное покрытие TAC последовательно дают исключительные результаты в процессах эпитаксии SIC. Мы стремимся предоставлять качественные продукты по конкурентным ценам и с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

TAC Coating Tube

TAC Cotating запасная часть

Ган на приемнике EPI

Cvd TAC Catingater Caturier

Графитовая ствольная коробка с покрытием TaC

TAC Cating Suber

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес