TAC Cotating Retation Receptor

Vetek Semiconductor TAC Cotation Retation Receptor является ключевым компонентом для обработки пластин при обработке полупроводника. ЕгоТак чтоНашимеет превосходную высокую температуру (точка плавления до 3880 ° C), химическая стабильность и коррозионная стойкость, которые обеспечивают высокую точность и высокое качество обработки пластин.

TAC Cotating Retation Receptor (Tantalum Carbon Cotation Copation Receptor) является ключевым компонентом оборудования, используемого при полупроводниковой обработке. Обычно устанавливается вхимическое осаждение паров (сердечно -сосудистые заболевания)и оборудование молекулярного пучка эпитаксии (MBE) для поддержки и вращения пластин для обеспечения равномерного отложения материала и эффективной реакции. Этот тип продукта значительно улучшает срок службы и производительность оборудования в высокой температуре и коррозионной среде, покрывая субстратУглеродное покрытие тантала (TAC).

Вращение с покрытием TAC Обычно состоит из покрытия TAC и карбида графита или кремния в качестве материала субстрата. TAC-это керамический материал с сверхвысокой температурой с чрезвычайно высокой температурой плавления (точка плавления до 3880 ° C), твердость (твердость викерса составляет около 2000 гонконгских) и превосходная химическая коррозионная стойкость. Полупроводник Vetek может эффективно и равномерно покрывать углеродное покрытие тантала на подложку с помощью технологии CVD.

Поворотный восприятие обычно изготавливается из высокой теплопроводности и высокопрочных материалов (графит илиСиликоновый карбид), который может обеспечить хорошую механическую поддержку и термическую стабильность в высокотемпературных средах. Идеальное сочетание этих двух определяет идеальную производительность вращения на покрытии TAC в поддерживающих и вращающихся пластинках.

Вращение с покрытием TAC Receptor поддерживает и вращает пластину в процессе сердечно -сосудистых заболеваний. Твердость TAC Vickers составляет около 2000 HK, что позволяет ему противостоять повторному трение материала и играть хорошую вспомогательную роль, что гарантирует, что реакционный газ равномерно распределен на поверхности пластины, а материал распределяется. В то же время высокая температурная терпимость и коррозионная стойкость покрытия TAC позволяют использовать его в течение длительного времени в высокой температуре и коррозийной атмосферах, что эффективно избегает загрязнения пластины и носителя.

Кроме того, теплопроводность TAC составляет 21 Вт/м · K, что имеет хорошую теплопередачу. Следовательно, восприятие вращения покрытия TAC может равномерно нагреть пластину в условиях высокой температуры и обеспечить однородность процесса осаждения газа посредством вращательного движения, тем самым сохраняя консистенцию и высокое качестворост пластины.

Карбид тантала (TAC) покрытие на микроскопическом поперечном сечении：

Физические свойства покрытия TAC：

TAC Cotating Retation Shoptor Shops: