Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Ган Эпитаксика Гробовщика

Vetek Semiconductor-китайская компания, которая является производителем мирового класса и поставщиком Gan Epitaxy Pespector. Мы работали в полупроводниковой промышленности, такой как кремниевые карбидные покрытия и Epitaxy Gan Epitaxy. Мы можем предоставить вам отличные продукты и благоприятные цены. Vetek Semiconductor с нетерпением ждет возможности стать вашим долгосрочным партнером.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC, покрытый планом

Vetek Semiconductor TAC Paffer Repector - это графитный лоток, покрытый карбидом тантала для эпитаксиального роста карбида из кремния для улучшения качества и производительности пластины. Vetek отбирается из -за своей передовой технологии покрытия и долговечных решений, чтобы обеспечить превосходные результаты эпитаксии SIC и расширенную жизнь чувствительна, приветствуют ваши дальнейшие запросы.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Ride Guide Guide Rings

В качестве ведущего производителя TAC Dired Guide Convice Consults в Китае, Vetek полупроводниковые кольца, покрытые TAC, являются важными компонентами в оборудовании MOCVD, обеспечивая точную и стабильную доставку газа во время эпитаксиального роста и представляют собой неотъемлемый материал в полупроводниковом эпитаксиальном росте. Добро пожаловать, чтобы проконсультироваться с нами.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кольцо с карбидом тантала

Будучи профессиональным новатором и лидером карбидных кольцевых продуктов с карбидом в Китае, Vetek полупроводниковое кольцо карбида карбида играет неверную роль в росте кристаллов SIC с превосходной высокотемпературной сопротивлением, стойкостью к износу и превосходной термической проводимостью. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Пористый карбид тантала

Vetek Semiconductor является профессиональным производителем и лидером продуктов Porous Tantalum Carbide в Китае. Пористый карбид тантала обычно производится методом химического осаждения пара (CVD), обеспечивая точный контроль размера и распределения пор, и представляет собой материальный инструмент, посвященный высокотемпературным экстремальным средам. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Направляющее кольцо с покрытием TaC

Направляющее кольцо с покрытием TaC компании VeTek Semiconductor создается путем нанесения покрытия из карбида тантала на графитовые детали с использованием передовой технологии, называемой химическим осаждением из паровой фазы (CVD). Этот метод хорошо зарекомендовал себя и обеспечивает исключительные свойства покрытия. Используя направляющее кольцо с покрытием TaC, можно значительно продлить срок службы графитовых компонентов, подавить перемещение графитовых примесей и надежно сохранить качество монокристаллов SiC и AIN. Добро пожаловать на запрос нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-15988690905
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Ган Эпитаксика Гробовщика

TAC, покрытый планом

TAC Ride Guide Guide Rings

Кольцо с карбидом тантала

Пористый карбид тантала

Направляющее кольцо с покрытием TaC

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес