TAC COTPATE RUBIBLE

Сделки полупроводникиССИОС КРУКТОВЫЕ ПРЕМЕНТИКИОбычно играют следующие ключевые роли в методе PVT SIC процесс роста монокристаллов:

Метод PVT относится к размещению кристалла семян SIC на верхнюю часть тигра, покрытого TAC, и размещению порошка SIC в качестве сырья на дне тигеля. В замкнутой среде высокой температуры и низкого давления подсобликает порошок SIC и при действии градиента температуры и разности концентраций,SIC Порошокпередается в окрестности кристалла семян и достигает перенасыщенного состояния после перекристаллизации. Следовательно, метод PVT может достичь контролируемого роста размера кристалла SIC и специфической кристаллической формы.

● Тепловая стабильность роста кристаллов

Полученные по полупроводниковому TAC Prucibles обладают превосходной тепловой стабильностью (может оставаться стабильной ниже 2200 ℃), что помогает поддерживать их структурную целостность даже при чрезвычайно высоких температурах, необходимых для роста монокристаллов. Это физическое свойство позволяет графитовому графиту с покрытием SIC, чтобы точно контролировать процесс роста кристаллов, что приводит к очень равномерным и без дефектов кристаллов.

● Отличный химический барьер

Крагни, покрытые TAC, сочетают в себе карбидовое покрытие тантала с графитом высокой чистоты, чтобы обеспечить превосходную устойчивость к широкому диапазону коррозионных химических веществ и расплавленных материалов, обычно встречающихся во время роста мелькалисталлов SIC. Это свойство имеет решающее значение для достижения высококачественных кристаллов с минимальными дефектами.

● демпфирующие вибрации для стабильной среды роста

Превосходные демпфирующие свойства тигного покрытого TAC минимизируют вибрации и тепловой удар внутри графитового тигара, что еще больше способствует стабильной и контролируемой среде роста кристаллов. Смягчая эти потенциальные источники интерференции, покрытие TAC позволяет рост более крупных, более однородных кристаллов с пониженной плотностью дефекта, в конечном итоге увеличивая доходность устройства и улучшая производительность устройства.

● Отличная теплопроводность

Походные тихой Veteksemon, покрытые превосходной теплопроводностью, которая помогает графитовому тиму быстро и равномерно переносить тепло. Это определяет точный контроль температуры в процессе роста кристаллов, сводя к минимуму дефекты кристаллов, вызванные тепловыми градиентами.

Карбид тантала (TAC) покрытие на микроскопическом поперечном сечении

Физические свойстваКарбидовое покрытие тантала

Vetek Semiconductor Production Shops