Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Датчик вращения покрытия TaC

Как профессиональный производитель, новатор и лидер в области датчиков вращения покрытия TaC в Китае. Датчик вращения покрытия VeTek Semiconductor TaC обычно устанавливается в оборудовании для химического осаждения из паровой фазы (CVD) и молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) для поддержки и вращения пластин для обеспечения равномерного осаждения материала и эффективной реакции. Это ключевой компонент в обработке полупроводников. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Тигель с CVD-покрытием TaC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и лидером тиглей с CVD-покрытием TaC в Китае. Покрытие CVD TaC Тигель основан на покрытии из тантала и углерода (TaC). Тантал-углеродное покрытие равномерно покрывается поверхностью тигля посредством процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD) для повышения его термостойкости и коррозионной стойкости. Это инструмент из материала, специально используемый в экстремальных условиях высоких температур. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

CVD TAC Cating Carrier

В качестве профессионального производителя продукции и фабрики в Китае в Китае в Китае, полупроводниковой CVD Coating Coating Coating Coating Coating Cating Cating Cating Saturier, представляет собой инструмент для переноски пластин, специально предназначенный для высокой температуры и коррозийной среды в производстве полупроводников. и CVD TAC Catating Wafer Swarier имеет высокую механическую прочность, превосходную коррозионную стойкость и термическую стабильность, обеспечивая необходимую гарантию для производства высококачественных полупроводниковых устройств. Ваши дальнейшие запросы приветствуются.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Обогреватель TAC

Нагреватель для полупроводника Vetek Semiconductor TAC имеет чрезвычайно высокую температуру плавления (около 3880 ° C). Высокая точка плавления позволяет ему работать при чрезвычайно высоких температурах, особенно при росте эпитаксиальных слоев нитрида нитрида галлия (GAN) в процессе осаждения (MOCVD) металла (MOCVD). Vetek Semiconductor стремится предоставлять клиентам индивидуальные решения для продуктов. Мы с нетерпением ждем вашего ответа.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Cvd TAC Cotating

VeTek Semiconductor является ведущим китайским производителем продукции с покрытием CVD TAC. В течение многих лет мы уделяем особое внимание различным продуктам с покрытием CVD TAC, таким как крышка с покрытием CVD TaC, кольцо с покрытием CVD TaC. VeTek Semiconductor поддерживает индивидуальные услуги по продуктам и приемлемые цены на продукцию и с нетерпением ждет ваших дальнейших консультаций.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC покрыл Чак

Благодаря высоко температурной устойчивости, химической инертности и превосходной производительности, патроны Vetek Semiconductor, покрытые TAC, предназначены для полупроводниковых печей. Мы считаем, что наши продукты могут принести вам передовые технологии и качественные решения для продуктов.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Датчик вращения покрытия TaC

Тигель с CVD-покрытием TaC

CVD TAC Cating Carrier

Обогреватель TAC

Cvd TAC Cotating

TAC покрыл Чак

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес