Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Карбид тантала

В качестве передового производителя и производителя изделий из карбида тантала в Китае, кольцо с карбидом тантала Vetek имеет чрезвычайно высокую твердость, устойчивость к износу, высокотемпературную устойчивость и химическую стабильность и широко используется в поле полупроводниковых производства. Особенно при сердечно -сосудистых заболеваниях, PVD, процессе имплантации ионов, процессе травления, а также обработке пластин и транспортировке, это необходимый продукт для полупроводниковой обработки и производства. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Поддержка карбида карбида тантала

В качестве профессионального производителя продуктов и фабрики в Китае в Китае в Китае в Китае есть поддержка карбида карбидов Vetek, обычно используется для поверхностного покрытия структурных компонентов или компонентов опорных компонентов в оборудовании с полупроводниками, особенно для защиты поверхностных компонентов оборудования в процессах производства полупроводников, таких как CVD и PVD. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кольцо из карбида тантала

Vetek Semiconductor является профессиональным производителем и руководителем Dantalum Carbide Guide Forcure в Китае. Наше направляющее кольцо карбида тантала (TAC) представляет собой высокопроизводительный кольцевой компонент, изготовленный из карбида тантала, который обычно используется в оборудовании по обработке полупроводников, особенно в высокотемпературных и высоко коррозионных средах, таких как сердечно-сосудистые среды, PVD, травление и диффузия. Vetek Semiconductor стремится предоставить передовые технологии и решения для продуктов для полупроводниковой промышленности и приветствует ваши дальнейшие запросы.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Cotating Retation Receptor

Будучи профессиональным производителем, новатор и лидер ротации TAC Cotation Products в Китае. Полупроводник TAC Cotator Cotator Outceptor, обычно устанавливается в оборудовании химического осаждения паров (CVD) и оборудования эпитаксии молекулярного луча (MBE) для поддержки и вращения пластин для обеспечения однородного осаждения материала и эффективной реакции. Это ключевой компонент в полупроводниковой обработке. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Cvd TAC Cating Crucible

Vetek Semiconductor является профессиональным производителем и лидером продуктов Cvd TAC Cupting Crucible в Китае. Cvd TAC Cayble Crucible основан на покрытии углерода Tantalum (TAC). Углеродное покрытие тантала равномерно покрывается на поверхности тигального процесса посредством процесса химического отложения паров (CVD), чтобы повысить его теплостойкость и коррозионную стойкость. Это материальный инструмент, специально используемый в высокотемпературных экстремальных средах. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

CVD TAC Cating Carrier

В качестве профессионального производителя продукции и фабрики в Китае в Китае в Китае, полупроводниковой CVD Coating Coating Coating Coating Coating Cating Cating Cating Saturier, представляет собой инструмент для переноски пластин, специально предназначенный для высокой температуры и коррозийной среды в производстве полупроводников. и CVD TAC Catating Wafer Swarier имеет высокую механическую прочность, превосходную коррозионную стойкость и термическую стабильность, обеспечивая необходимую гарантию для производства высококачественных полупроводниковых устройств. Ваши дальнейшие запросы приветствуются.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-15988690905
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Карбид тантала

Поддержка карбида карбида тантала

Кольцо из карбида тантала

TAC Cotating Retation Receptor

Cvd TAC Cating Crucible

CVD TAC Cating Carrier

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес