Карбид тантала

Кольцо с карбидом Tantalum (TAC) Vetek использует высококачественный графит в качестве основного материала и, благодаря его уникальной структуре, способно поддерживать свою форму и механические свойства в экстремальных условиях печи с ростом кристаллов. Высокая теплостойкость графита дает ему отличную стабильность на протяжении всейПроцесс роста кристаллов.

Внешний слой кольца TAC покрыткарбидовое покрытие тантала, материал, известный своей чрезвычайно высокой твердостью, температурой плавления более 3880 ° C и превосходной устойчивостью к химической коррозии, что делает его особенно подходящим для высокотемпературных работ. Калочное покрытие тантала обеспечивает сильный барьер для эффективного предотвращения сильных химических реакций и гарантия, что графитовое ядро ​​не коррозируется высокотемпературными газами печи.

В течениеКремниевый карбид (SIC) рост кристаллов, Стабильные и равномерные условия роста являются ключом к обеспечению высококачественных кристаллов. Кольцо из карбида тантала играет жизненно важную роль в регулировании потока газа и оптимизации распределения температуры в печи. В качестве газового кольца кольцо TAC обеспечивает равномерное распределение тепловой энергии и реакционных газов, обеспечивая равномерный рост и стабильность кристаллов SIC.

Кроме того, высокая теплопроводность графита в сочетании с защитным эффектом карбида тантала, позволяет стабильно работать направляющим кольцом TAC в высокотемпературной среде, необходимой для роста кристаллов SIC. Его структурная прочность и размерная стабильность имеют решающее значение для поддержания условий в печи, что напрямую влияет на качество полученных кристаллов. Сокращая тепловые колебания и химические реакции в печи, кольцо для покрытия TAC помогает генерировать кристаллы с превосходными электронными свойствами для высокопроизводительных полупроводниковых применений.

Кольцо с карбидами тантала Vetek Semiconductкремниевые печати карбида карбида.и выделяется своей превосходной долговечностью, тепловой стабильностью и химической стойкостью. Его уникальная комбинация графитового ядра и покрытия TAC позволяет ему поддерживать структурную целостность и функциональность в суровых условиях. Точно контролируя температурный и газовый поток в печи, кольцо покрытия TAC обеспечивает необходимые условия для производства высококачественных кристаллов SIC, которые имеют решающее значение для передового полупроводникового производства компонентов.

Карбид тантала (TAC) покрытие на микроскопическом поперечном сечении：