Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Пластина вращения покрытия TAC

Пластина вращения на покрытии TAC, произведенная Vetek Semiconductor, может похвастаться выдающимся покрытием TAC, с его исключительным покрытием TAC, пластинкой с покрытием TAC имеет замечательную высокотемпературную сопротивление и химическую инертность, которые отличают ее от традиционных решений. Мы привержены обеспечению качественных продуктов по конкурентоспособным ценам и смотрят на ваш долгосрочный партнер в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Cotating Plate

Разработанный с точностью и разработанной до совершенства, пластина TAC TAC Vetek Semiconductor специально предназначена для различных применений в процессах роста монокристаллов кремниевого карбида (SIC). Точные размеры покрытия TAC. Пластины для покрытия TAC и надежная конструкция облегчают интеграцию в существующие системы, обеспечивая бесшовную совместимость и эффективную работу. Его надежная производительность и высококачественное покрытие способствуют последовательным и равномерным результатам в приложениях роста кристаллов SIC. Мы стремимся предоставлять качественные продукты по конкурентным ценам и с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Cvd TAC Cover Cover

Крышка покрытия CVD TAC, предоставленная Vetek Semiconductor, является высокоспециализированным компонентом, разработанным специально для требовательных применений. Благодаря своим расширенным функциям и исключительной производительности, наша крышка покрытия CVD TAC предлагает несколько ключевых преимуществ. Наша крышка покрытия CVD TAC обеспечивает необходимую защиту и производительность, необходимые для успеха. Мы с нетерпением ждем возможности изучить потенциальное сотрудничество с вами!

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Planetary Parterator Planetary

Planetary Planetary Presector - это исключительный продукт для оборудования Epitaxy Aixtron. Покрытие TAC Vetek Semiconductor обеспечивает превосходную высокотемпературную устойчивость и химическую инертность. Эта уникальная комбинация обеспечивает надежную производительность и длительный срок службы, даже в требовательных условиях. Vetek стремится предоставлять высококачественные продукты и служить долгосрочным партнером на китайском рынке с конкурентными ценами.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Так -покрытие пьедестал

Покрытие TAC может противостоять высокой температуре 2200 ℃. Vetek Semiconductor обеспечивает высокую чистоту TAC Pating с примесями ниже 5 частей на час в Китае. Пьетка для опорной пьедестала TAC способна противостоять водороду аммиака, аргонина в реакционной камере эпитаксиального устройства. Это улучшает срок службы продукта. Вы предоставляете требования, мы предоставляем настройку.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Cotating Chuck

Чак для покрытия TAC Vetek Semiconductor имеет высококачественное покрытие поверхности, известное своим выдающимся высокотемпературным сопротивлением и химической инертность, особенно в процессах карбида из карбида кремния (SIC) (EPI). Благодаря его исключительным функциям и превосходной производительности, наш Cuct Covert Tac Cover предлагает несколько ключевых преимуществ. Мы стремимся предоставлять качественные продукты по конкурентоспособным ценам и с нетерпением ждем того, чтобы стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Пластина вращения покрытия TAC

TAC Cotating Plate

Cvd TAC Cover Cover

Planetary Parterator Planetary

Так -покрытие пьедестал

TAC Cotating Chuck

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес