Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Кольцо с тремя лепестками с покрытием TaC

VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором трехлепестковых колец с покрытием TaC в Китае. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях TaC и SiC. Наша продукция обладает коррозионной стойкостью и высокой прочностью. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Добро пожаловать на консультацию в любое время.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Карбид Tantalum Carbide

Vetek Semiconductor-это ведущий производитель и новатор с карбидом, покрытый патроном, в Китае. Мы специализируемся на покрытии TAC в течение многих лет. Наши продукты имеют высокую чистоту и высокую температуру до 2000 года. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Карбисное покрытие тантала

Vetek Semiconductor является ведущим производителем и новатором карбида с карбидом тантала. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Ультра чистый графит нижний полумун

Vetek Semiconductor является ведущим поставщиком индивидуального ультра -чистого графита нижнего полумуна в Китае, специализируясь на передовых материалах в течение многих лет. Наш Ultra Pure Graphite нижний полуммун специально предназначен для эпитаксиального оборудования SIC, обеспечивающего превосходную производительность. Изготовленная из импортированного графита ультра-Pur, он предлагает надежность и долговечность. Посетите нашу фабрику в Китае, чтобы исследовать наш высококачественный Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon Ofryand. Получите консультации в любое время.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Верхняя часть полумуна SIC покрыта покрытием

Vetek Semiconductor является ведущим поставщиком индивидуальной верхней части полумуна SIC, покрытой Китаем, специализируясь на передовых материалах более 20 лет. Верхняя часть полупроводника Vetek SIC Cover Sic, специально предназначенная для эпитаксиального оборудования SIC, служит важным компонентом в реакционной камере. Изготовленный из ультра-панельного, полупроводникового графита, он обеспечивает превосходную производительность. Мы приглашаем вас посетить нашу фабрику в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кремниевый карбид -эпитаксический перевозчик пластин

Vetek Semiconductor - это ведущий индивидуальный поставщик карбидов кремниевой карбиды эпитаксии в Китае. Мы были специализированы на передовых материалах более 20 лет. Мы предлагаем кремниевый карбид -эпитакси -носитель для переноски SIC -субстрата, растущего уровня эпитакси SIC в эпитаксиальном реакторе SIC. Этот кремниевый карбид -носитель эпитаксии является важной частью полуммунской части, высокой температурной устойчивости, устойчивости к окислению, устойчивости к износу. Мы приветствуем вас посетить нашу фабрику в Китае.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Кольцо с тремя лепестками с покрытием TaC

Карбид Tantalum Carbide

Карбисное покрытие тантала

Ультра чистый графит нижний полумун

Верхняя часть полумуна SIC покрыта покрытием

Кремниевый карбид -эпитаксический перевозчик пластин

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес