Продукты

Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.


Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.


Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.


Ключевые особенности:

 ●Температурная стабильность

 ●Сверхвысокая чистота

 ●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

 ●Устойчивость к тепловому материалу

 ●Сильная адгезия к графиту

 ●Конформное покрытие покрытия

 Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)


Приложения:

 ●Вафельный носитель

 ● Датчик индукционного нагрева.

 ● Резистивный нагревательный элемент

 ●Спутниковый диск

 ●Душевая лейка

 ●Направляющее кольцо

 ●Светодиодный эпиприемник

 ●Инъекционное сопло

 ●Маскирующее кольцо

 ● Тепловой экран


Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность 14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность 0.3
Коэффициент теплового расширения 6,3 10-6
Твердость (ГК) 2000 Гонконг
Сопротивление 1×10-5Ом*см
Термическая стабильность <2500℃
Изменение размера графита -10~-20ум
Толщина покрытия Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)


Покрытие TaC, данные EDX

EDX data of TaC coating


Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент Атомный процент
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Средний
С К 52.10 57.41 52.37 53.96
Их 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Светодиод Epi

Светодиод Epi

Vetek Semiconductor является ведущим поставщиком покрытий TAC и SIC Cating Parts. Мы специализируемся на производстве передовых светодиодных EPI-восприимчиков, необходимых для светодиодных процессов эпитаксии. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.
MOCVD токоприемник с покрытием TaC

MOCVD токоприемник с покрытием TaC

Vetek Semiconductor - это всеобъемлющий поставщик, участвующий в исследованиях, разработки, производстве, проектировании и продажах покрытий TAC и запчасти для покрытия SIC. Наш опыт заключается в производстве современного MoCVD-восприимчика с покрытием TAC, которые играют жизненно важную роль в процессе эпитаксии светодиода. Мы приветствуем вас, чтобы обсудить с нами запросы и дополнительную информацию.
Светодиодный датчик глубокого УФ-излучения с покрытием TaC

Светодиодный датчик глубокого УФ-излучения с покрытием TaC

Покрытие TAC - это новое поколение, разработанное для жесткой среды. Vetek Semiconductor - это интегрированный поставщик, занимающийся исследованиями и разработками, производством, проектированием и продажами покрытий TAC. Мы специализируемся на производстве ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетов, которые являются важными компонентами. Наш TAC, покрытый глубоким ультрафиолетовым светодиодом, предлагает высокую теплопроводность, высокую механическую прочность, повышенную эффективность производства и защиту эпитаксиальной пластины. Добро пожаловать, чтобы запросить нас.
Карбид Tantalum Carbide Tac, покрытый полуммун

Карбид Tantalum Carbide Tac, покрытый полуммун

Запчасти для полумуна, покрытые CVD TAC, более долговечны, чем SIC, покрытые SIC, полумун. цена. Вы можете посетить нашу фабрику для дальнейшего обсуждения долгосрочного сотрудничества.
Кольцо с тремя лепестками с покрытием TaC

Кольцо с тремя лепестками с покрытием TaC

VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором трехлепестковых колец с покрытием TaC в Китае. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях TaC и SiC. Наша продукция обладает коррозионной стойкостью и высокой прочностью. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Добро пожаловать на консультацию в любое время.
Карбид Tantalum Carbide

Карбид Tantalum Carbide

Vetek Semiconductor-это ведущий производитель и новатор с карбидом, покрытый патроном, в Китае. Мы специализируемся на покрытии TAC в течение многих лет. Наши продукты имеют высокую чистоту и высокую температуру до 2000 года. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept