Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Cvd TAC Coating Ring

В полупроводниковой промышленности кольцо покрытия CVD TAC является очень выгодным компонентом, предназначенным для удовлетворения требовательных требований процессов роста кристаллов кремниевого карбида (SIC). Кольцо Vetek Semiconductor CVD TAC Covert обеспечивает выдающуюся высокотемпературную сопротивление и химическую инертность, что делает его идеальным выбором для среды, характеризующиеся повышенными температурами и коррозионными условиями. Мы стремимся к созданию эффективного производства монокристаллических аксессуаров из карбида кремниевых карбидов. Пожалуйста, не стесняйтесь связываться с нами за дополнительными вопросами.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

LPE SiC EPI Полумесяц

LPE SiC Epi Halfmoon — это специальная конструкция печи для горизонтальной эпитаксии, революционный продукт, предназначенный для улучшения процессов эпитаксии SiC в реакторе LPE. Это передовое решение может похвастаться несколькими ключевыми функциями, которые обеспечивают превосходную производительность и эффективность ваших производственных операций. Компания Vetek Semiconductor является профессионалом в производстве полумесяца LPE SiC Epi размером 6 дюймов и 8 дюймов. Надеемся на долгосрочное сотрудничество с вами.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Светодиод Epi

Vetek Semiconductor является ведущим поставщиком покрытий TAC и SIC Cating Parts. Мы специализируемся на производстве передовых светодиодных EPI-восприимчиков, необходимых для светодиодных процессов эпитаксии. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

MOCVD токоприемник с покрытием TaC

Vetek Semiconductor - это всеобъемлющий поставщик, участвующий в исследованиях, разработки, производстве, проектировании и продажах покрытий TAC и запчасти для покрытия SIC. Наш опыт заключается в производстве современного MoCVD-восприимчика с покрытием TAC, которые играют жизненно важную роль в процессе эпитаксии светодиода. Мы приветствуем вас, чтобы обсудить с нами запросы и дополнительную информацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Светодиодный датчик глубокого УФ-излучения с покрытием TaC

Покрытие TAC - это новое поколение, разработанное для жесткой среды. Vetek Semiconductor - это интегрированный поставщик, занимающийся исследованиями и разработками, производством, проектированием и продажами покрытий TAC. Мы специализируемся на производстве ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетовых ультрафиолетов, которые являются важными компонентами. Наш TAC, покрытый глубоким ультрафиолетовым светодиодом, предлагает высокую теплопроводность, высокую механическую прочность, повышенную эффективность производства и защиту эпитаксиальной пластины. Добро пожаловать, чтобы запросить нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Карбид Tantalum Carbide Tac, покрытый полуммун

Запчасти для полумуна, покрытые CVD TAC, более долговечны, чем SIC, покрытые SIC, полумун. цена. Вы можете посетить нашу фабрику для дальнейшего обсуждения долгосрочного сотрудничества.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Cvd TAC Coating Ring

LPE SiC EPI Полумесяц

Светодиод Epi

MOCVD токоприемник с покрытием TaC

Светодиодный датчик глубокого УФ-излучения с покрытием TaC

Карбид Tantalum Carbide Tac, покрытый полуммун

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес