TAC Cotating запасная часть

Это полупроводникTAC Cotating Plateявляется специальным материалом, широко используемым вполупроводникПроцесс производства. В сочетании с высокой твердостью и износостойкой, высокой температурной стойкостью, коррозионной стойкостью, низким коэффициентом трения и хорошей теплопроводностью, пластина с покрытием TAC играет незаменимую роль во многих связях полупроводниковой обработки.

Как правило, применениеTAC покрытые пластинамив полупроводниковой обработке следующие:

● Субстрат роста CVD/ALD: Высокая температурная устойчивость, химическая стабильность и низкий коэффициент трения пластин с покрытием TAC делают их идеальными субстратами роста CVD/ALD. Это может обеспечить стабильную среду роста, чтобы обеспечить однородность и плотность пленки.

●  Пластина маски травления: Высокая твердость и коррозионная стойкость пластин с покрытием TAC позволяют им выдерживать высокоэнергетические процессы, такие как травление в плазме, как травление маски, защищая базовую пленку.

●  CMP Polish Pad: Коэффициент сопротивления износа и низкий коэффициент трения пластин с покрытием TAC делают их идеальными материалами для полировки CMP, которые могут эффективно удалять частицы и дефекты на поверхности пленки.

●  Трубка с высокой температурой: Высокая температурная устойчивость и коррозионная стойкость пластин с покрытием TAC позволяют использовать их в качестве печи в высокотемпературных печи для высокотемпературного отжига, диффузии и других процессов.

Технические параметры CVD TAC. Технические параметры：

Vetek Semiconductor TAC покрытие запасной части продуктов магазины продуктов：