Покрытие из карбида тантала

VeTek Semiconductor является ведущим производителем покрытий из карбида тантала для полупроводниковой промышленности. Наш основной ассортимент продукции включает детали с покрытием из карбида тантала CVD, детали с спеченным покрытием TaC для выращивания кристаллов SiC или процесса эпитаксии полупроводников. Компания VeTek Semiconductor прошла сертификацию ISO9001 и имеет хороший контроль качества. VeTek Semiconductor стремится стать новатором в индустрии покрытий из карбида тантала посредством постоянных исследований и разработок итеративных технологий.

Основной продукцией являютсяНаправляющее кольцо с покрытием TaC, Трехлепестковое направляющее кольцо с CVD-покрытием TaC, Полумесяц из карбида тантала с покрытием TaC, Планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC с покрытием CVD TaC, Кольцо с покрытием из карбида тантала, Пористый графит с покрытием из карбида тантала, Датчик вращения покрытия TaC, Кольцо из карбида тантала, Вращающаяся пластина с покрытием TaC, Токоприемник пластины с покрытием TaC, Дефлекторное кольцо с покрытием TaC, Крышка с покрытием CVD TaC, Патрон с покрытием TaCи т. д., чистота ниже 5 ppm, может удовлетворить требования клиентов.

Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD). Преимущество показано на рисунке ниже:

Excellent properties of TaC coating graphite

Покрытие из карбида тантала (TaC) привлекло внимание благодаря своей высокой температуре плавления до 3880°C, превосходной механической прочности, твердости и стойкости к термическим ударам, что делает его привлекательной альтернативой процессам эпитаксии сложных полупроводников с более высокими температурными требованиями. такие как система Aixtron MOCVD и процесс эпитаксии LPE SiC. Он также широко применяется в процессе выращивания кристаллов SiC методом PVT.

Ключевые особенности:

●Температурная стабильность

●Сверхвысокая чистота

●Устойчивость к H2, NH3, SiH4,Si

●Устойчивость к тепловому материалу

●Сильная адгезия к графиту

●Конформное покрытие покрытия

● Размер до 750 мм в диаметре(Такого размера достигает единственный производитель в Китае)

Приложения:

●Вафельный носитель

● Датчик индукционного нагрева.

● Резистивный нагревательный элемент

●Спутниковый диск

●Душевая лейка

●Направляющее кольцо

●Светодиодный эпиприемник

●Инъекционное сопло

●Маскирующее кольцо

● Тепловой экран

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Физические свойства покрытия TaC
Плотность	14,3 (г/см³)
Удельная излучательная способность	0.3
Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/К
Твердость (ГК)	2000 Гонконг
Сопротивление	1×10^-5Ом*см
Термическая стабильность	<2500℃
Изменение размера графита	-10~-20ум
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Покрытие TaC, данные EDX：

EDX data of TaC coating

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Элемент	Атомный процент
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Средний
С К	52.10	57.41	52.37	53.96
Их	47.90	42.59	47.63	46.04

Патрон с покрытием TaC Планетарный диск с покрытием TaC
Пластина с покрытием TaC Вращающаяся пластина с покрытием TaC Приемник покрытия TaC Покрытие CVD TaC Крышка Кольцо с покрытием CVD TaC Пластина покрытия TaC

View as

Пористый графит с покрытием из карбида тантала

Пористый графит с покрытием из карбида тантала является незаменимым продуктом в процессе обработки полупроводников, особенно в процессе выращивания кристаллов SIC. После непрерывных инвестиций в исследования и разработки, а также модернизации технологий, качество продукции VeTek Semiconductor из пористого графита с покрытием TaC завоевало высокую оценку европейских и американских клиентов. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

CVD-покрытие TaC планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC

CVD TAC Covert Planetary SIC Эпитаксиальный восприимщик является одним из основных компонентов планетарного реактора MOCVD. Через CVD CVD Covert Plantary SIC EpiTaxial Pesceptor, большой диск орбиты и вращается небольшой диск, а модель горизонтального потока распространяется на многоошип -Гроппы и преимущества производственных затрат многоошипных машин. Полупроводник Vetek может предоставить клиентам высоко настраиваемое CVD Plantary Plantary SIC Epitaxial Repector. Если вы также хотите сделать планетарную печь MoCVD, как Aixtron, приходите к нам!

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кольцо с покрытием TAC

Как ведущий производитель и поставщик кольцевых продуктов с покрытием TAC в Китае, Vetek Semiconductor сосредоточен на НИОКР и производстве различных продуктов для покрытия TAC. Будучи основными клиентами продуктов для покрытия TAC, европейские и американские производители высоко оценили наши продукты для покрытия. Добро пожаловать на вашу дальнейшую консультацию.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Ган Эпитаксика Гробовщика

Vetek Semiconductor-китайская компания, которая является производителем мирового класса и поставщиком Gan Epitaxy Pespector. Мы работали в полупроводниковой промышленности, такой как кремниевые карбидные покрытия и Epitaxy Gan Epitaxy. Мы можем предоставить вам отличные продукты и благоприятные цены. Vetek Semiconductor с нетерпением ждет возможности стать вашим долгосрочным партнером.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC, покрытый планом

Vetek Semiconductor TAC Paffer Repector - это графитный лоток, покрытый карбидом тантала для эпитаксиального роста карбида из кремния для улучшения качества и производительности пластины. Vetek отбирается из -за своей передовой технологии покрытия и долговечных решений, чтобы обеспечить превосходные результаты эпитаксии SIC и расширенную жизнь чувствительна, приветствуют ваши дальнейшие запросы.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

TAC Ride Guide Guide Rings

В качестве ведущего производителя TAC Dired Guide Convice Consults в Китае, Vetek полупроводниковые кольца, покрытые TAC, являются важными компонентами в оборудовании MOCVD, обеспечивая точную и стабильную доставку газа во время эпитаксиального роста и представляют собой неотъемлемый материал в полупроводниковом эпитаксиальном росте. Добро пожаловать, чтобы проконсультироваться с нами.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Покрытие из карбида тантала в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Покрытие из карбида тантала, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Покрытие из карбида тантала

Ключевые особенности:

Приложения:

Покрытие из карбида тантала (TaC) на микроскопическом поперечном сечении:

Параметр покрытия VeTek Semiconductor из карбида тантала:

Покрытие TaC, данные EDX：

Данные о кристаллической структуре покрытия TaC:

Пористый графит с покрытием из карбида тантала

CVD-покрытие TaC планетарный эпитаксиальный токоприемник SiC

Кольцо с покрытием TAC

Ган Эпитаксика Гробовщика

TAC, покрытый планом

TAC Ride Guide Guide Rings

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес