Кольцо с покрытием TAC для роста монокристаллов SIC SIC

В настоящее время силовые устройства SIC становятся все более и более популярными, поэтому связанное полупроводниковое изготовление более важно, а свойства SIC должны быть улучшены. SIC является субстратом в полупроводнике. Как незаменимый сырье для устройств SIC, как эффективно производить кристалл SIC является одной из важных тем. В процессе выращивания кристалла SIC с помощью метода PVT (физический транспорт перенос пара), кольцо TAC, покрытое полупроводником Vetek для роста монокристалля SIC, играет незаменимую и важную роль. После тщательного проектирования и производства это кольцо с покрытием TAC обеспечивает отличную производительность и надежность, обеспечивая эффективность и стабильностьSIC Crystal Growthпроцесс.

Покрытие карбида тантала (TAC) привлекло внимание благодаря высокой темпе плавления до 3880 ° C, превосходной механической прочностью, твердостью и сопротивлениям тепловых ударов, что делает его привлекательной альтернативой для составных процессов эпитаксии с более высокой температурой.

Кольцо с покрытием TACОсобенности продукта

(I) Связь с материалом высококачественного покрытия TAC с графитовым материалом

Кольцо с покрытием TAC Для роста монокристалля SIC с использованием высококачественного графитового материала SGL в качестве субстрата, оно обладает хорошей теплопроводностью и чрезвычайно высокой стабильностью материала. Покрытие CVD TAC обеспечивает непористое поверхность. В то же время используется высокомерный CVD TAC (карбид тантала) в качестве материала покрытия, который имеет чрезвычайно высокую твердость, температуру плавления и химическая стабильность. Покрытие TAC может поддерживать превосходную производительность в высокой температуре (обычно до 2000 ℃ или более) и высоко коррозийной среде роста кристаллов SIC методом PVT, эффективно сопротивляется химическим реакциям и физической эрозии во времяSIC рост, значительно продлите срок службы кольца покрытия и сократите расходы на обслуживание оборудования и время простоя.

10 мкм 300 мкм

Покрытие TACс высокой кристалличностью и отличной однородности

(Ii) Точный процесс покрытия

Усовершенствованная технология процесса покрытия CVD в Vetek Semiconductor гарантирует, что покрытие TAC равномерно и плотно покрыто на поверхности кольца. Толщика покрытия может точно контролировать при ± 5 мм, обеспечивая равномерное распределение поля температурного поля и поля воздушного потока во время процесса роста кристаллов, что способствует высококачественному и большому росту кристаллов SIC.

Общая толщина покрытия составляет 35 ± 5 мм, также мы можем настроить его в соответствии с вашим требованием.

(Iii) Отличная высокотемпературная стабильность и сопротивление теплового шока

В высокотемпературной среде метода PVT кольцо с TAC для роста монокристалля SIC демонстрирует превосходную тепловую стабильность.

Сопротивление H2, NH3, SIH4, SI

Сверхвысокая чистота для предотвращения загрязнения процесса

Высокая сопротивление термическим ударам для более быстрых циклов работы

Он может противостоять долгосрочной высокотемпературной выпечке без деформации, растрескивания или выброса покрытия. Во время роста кристаллов SIC температура часто изменяется. Кольцо Vetek Semiconductor, покрытое покрытым кольцом для роста монокристалля SIC SIC, обладает превосходной сопротивлением тепловым шоком и может быстро адаптироваться к быстрым изменениям температуры без растрескивания или повреждения. Дальнейшее повышение эффективности производства и качества продукции.

Vetek Semiconductor прекрасно знает, что у разных клиентов есть различное оборудование для роста и процессов PVT -кристаллов, поэтому он предоставляет индивидуальные услуги для кольца с покрытием TAC для роста монокристалля SIC SIC. Будь то спецификации размера кольцевого корпуса, толщина покрытия или специальные требования к производительности, мы можем адаптировать его в соответствии с вашими требованиями, чтобы гарантировать, что продукт идеально соответствует вашему оборудованию и процессу, предоставляя вам наиболее оптимизированное решение.

Физические свойства покрытия TAC

Это полупроводникКольцо с покрытием TAC Производственные магазины