SIC Edge Ring

В области производства полупроводников SIC Edge Rings, как основные компоненты оборудования для обработки пластин, революционизируют промышленный ландшафт с помощью своих свойств материала. Значение этого точного компонента, изготовленного из монокристаллов кремниевого карбида, лежит не только в его высокотехнологичном содержании, но и в значительном улучшении урожайности и оптимизации эксплуатационных расходов, которые он может принести производителям.

Структурные характеристики кольца SIC

Кремниевые карбидные кольца являются ключевыми расходными компонентами в полупроводниковом оборудовании травления и изготовлены из высокочистого кремниевого карбида карбида, приготовленных методом химического осаждения пара (CVD). Диаметр его кольцевой структуры обычно составляет 200-450 мм, а толщина контролируется в пределах 5-15 мм, содержит следующие характеристики:

1. Устойчивость

2. Стабильность плазмы: диэлектрическая постоянная 9,7, напряжение разбивки 3 мВ/см.

3. Геометрическая точность: ошибка округлости ≤0,05 мм, шероховатость поверхности RA <0,2 мкм

Прорыв в производственном процессе

Современный процесс подготовки принимает трехэтапный метод:

1. Матрица Формирование: Изостатическое прессование обеспечивает равномерную плотность

2. Высокотемпературное спекание: уплотнение лечения в инертной атмосфере в 2100 ℃

3. Модификация поверхности: наноразмерные защитные слои образуются посредством реактивного ионного травления (RIE). Последнее исследование показывает, что срок службы кремниевых карбидных колец, легированных 3% бором, увеличивается на 40%, а скорость загрязнения пластины снижается до уровня 0,01 млрд.

Сценарии приложения

Он показывает необработанность в процессах ниже 5 нм:

2. Однородность травления: он может поддерживать отклонение скорости травления ± 1,5% на краю пластины

3. Контроль загрязнения: снижает загрязнение металла на 92% по сравнению с традиционными кварцевыми материалами

4. Цикл обслуживания: он может работать непрерывно в течение 1500 часов в плазме CF4/O2

Veteksemicon добился прорыва внутреннего производства колец SIC Edge, что может сэкономить много расходов. Добро пожаловать, чтобы связаться с нами в любое время!