Горизонтальный перевозчик пластин SIC

ВеТек ПолупроводникГоризонтальный держатель пластин SiC/Лодка имеет чрезвычайно высокую температуру плавления (около 2700 ° С), которая позволяетГоризонтальный держатель пластин SiC/Лодка стабильно работает в условиях высоких температур без деформации и деградации. Эта особенность особенно важна в процессе производства полупроводников, особенно в таких процессах, как высокотемпературный отжиг или химическое осаждение из паровой фазы (CVD).

TheГоризонтальный перевозчик пластин SIC/Катер выполняет следующие функции в процессе перевозки вафельных носителей:

Перенос и поддержка кремниевых пластин: Горизонтальная лодка SIC пластин в основном используется для переноски и поддержки кремниевых пластин во время производства полупроводников. Он может твердо организовать несколько кремниевых пластин вместе, чтобы убедиться, что они остаются в хорошем положении и стабильности на протяжении всего процесса обработки.

Равномерное отопление и охлаждение: Благодаря высокой теплопроводности SiC, Wafer Boat может эффективно и равномерно распределять тепло по всем кремниевым пластинам. Это помогает добиться равномерного нагрева или охлаждения кремниевых пластин при высокотемпературной обработке, обеспечивая последовательность и надежность процесса обработки.

Предотвратить загрязнение: Химическая стабильность SiC позволяет ему хорошо работать в высокотемпературных и агрессивных газовых средах, тем самым снижая воздействие на кремниевые пластины возможных загрязнений или реагентов, обеспечивая чистоту и качество кремниевых пластин.

Фактически, лодка горизонтальной пластины SIC может сыграть вышеуказанную роль благодаря своей уникальной характеристиках продукта:

Отличная химическая стабильность: SIC материал обладает отличной коррозионной устойчивостью к различным химическим средам. В процессе обработки коррозионных газов или жидкостей SIC Pafer Boat может эффективно противостоять химической коррозии и защищать кремниевые пластины от загрязнения или повреждения.

Высокая теплопроводность: Высокая теплопроводность SIC помогает равномерно распределить тепло в процессе носителей и уменьшить накопление тепла. Это может повысить точность контроля температуры во время точной обработки и обеспечить равномерное нагрев или охлаждение кремниевых пластин.

Низкий коэффициент термического расширения: Низкий коэффициент теплового расширения материала SiC означает, что изменение размеров SiC Wafer Boat очень мало при изменении температуры. Это помогает поддерживать стабильность размеров во время высокотемпературной обработки и предотвращает деформацию или позиционное смещение кремниевых пластин, вызванное тепловым расширением.

Основные физические свойства горизонтального авианосца SIC PAFE:

Цех полупроводникового производства «ВеТек»:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: