Продукты
Кремниевый карбид рука робота
  • Кремниевый карбид рука роботаКремниевый карбид рука робота
  • Кремниевый карбид рука роботаКремниевый карбид рука робота

Кремниевый карбид рука робота

Наша роботизированная рука кремниевого карбида (SIC) предназначена для высокопроизводительной обработки пластин при передовом производстве полупроводников. Эта роботизированная рука, изготовленная из карбида с высокой чистотой кремния, обеспечивает исключительную устойчивость к высоким температурам, коррозии в плазме и химической атаке, обеспечивая надежную работу в требовании среды чистых комнат. Его исключительная механическая прочность и размерная стабильность обеспечивают точную обработку пластин при минимизации рисков загрязнения, что делает его идеальным выбором для MOCVD, эпитаксии, ионной имплантации и других приложений для обработки критических пластин. Мы приветствуем ваши запросы.

Роботизированная рука Veteksemon's Carbite Robotic представляет собой высококлассную полупроводниковую обработку, разработанное специально для суровых промышленных сред. Используя передовую технологию карбида из карбида с высокой точкой, она демонстрирует исключительную стабильность и долговечность в высоких температурах, коррозийных средах и сверхвысоких вакуумных условиях. В качестве ключевого компонента обработки пластин, процессов травления и осаждения наша роботизированная рука значительно повышает производительность и снижает затраты на техническое обслуживание.


Ⅰ. Технические параметры


Проект
Параметр
Материал
Высокая чистота SIC
Поверхностная твердость
2800-3200 HV
Грузоподъемность
3 кг/5 кг/10 кг (различные спецификации доступны)
Теплопроводность
Теплопроводность
Удельное сопротивление
10^3-10^5 Ом; см
Применимая среда
Высокая температура, плазма, коррозийный газ, сверхвысокий вакуум
Повторная точность позиционирования
± 0,02 мм

Ⅱ. Veteksemicon Cilicon Carbide Robot Arm Arem преимущества


1. Тяжелая толерантность к окружающей среде

Наша рука робота использует уникально сформулированное покрытие SIC, которое подвергается множеству высокотемпературных процессов осаждения, что позволяет ему поддерживать структурную целостность при устойчивых температурах 1500 ° C и эффективно сопротивляться коррозии от бомбардировки плазмы и сильной кислоты и щелочной среды. Это принципиально касается болевых точек традиционных материалов, которые подвержены старению и имеют короткий срок службы в условиях чрезвычайной работы.


2. Отличные механические свойства

Приняв составную структуру графитового субстрата и SIC Catting, мы достигли жесткости, намного превышающей жесткость металлических материалов, обеспечивая чрезвычайно легкую руку. Эта конструкция гарантирует, что деформация рука робота чрезвычайно невелика во время высокоскоростного возвратного движения, эффективно подавляя джиттер, тем самым твердо контролируя точность повторного позиционирования в пределах ± 0,02 мм, обеспечивая безопасную передачу точных вафель.


3. Ультра-высокая чистота

Мы понимаем, что загрязнение частиц является убийцей урожая номер один. Следовательно, каждая рука робота подвергается точной полировке и специализированной обработке поверхности, что приводит к RA шероховатости поверхности менее 0,1 мкм. Покрытие надежно придерживается, предотвращая любой риск очистки. Наши продукты на 100% проверены на чистоту, полностью соответствуют сверхвысокому требованиям к чистоту и готовы к использованию в современных производственных линиях.


4. Длительный срок службы

Благодаря неотъемлемой твердости SIC 3000 HV и отличной износостойкости, наши роботы испытывают минимальную деградацию производительности даже после десятков тысяч циклов движения. Их срок службы в несколько раз больше, чем у обычных компонентов керамического или алюминиевого сплава, значительно сокращая время простоя для замены и технического обслуживания, обеспечивая значительную общую экономическую эффективность для наших клиентов.


Ⅲ. Основные поля приложения


Направление применения
Типичный сценарий
SЭмикундуктора Производство
Обработка, передача и позиционирование пластин
Светодиодная производство
Компоненты реакционной камеры MOCVD
Фотоэлектрическая промышленность
PECVD, процесс диффузии
Аэрокосмическая
Автоматизированная обработка в средах тестирования высокой температуры

Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm 'Экологическая проверка цепочки охватывает сырье для производства, прошла сертификацию международного стандарта и имеет ряд запатентованных технологий для обеспечения надежности и устойчивости в полупроводнике и новых энергетических полях. Добро пожаловать, чтобы проконсультироваться с нами в любое время.


Veteksemicon products shop

Горячие Теги: Кремниевый карбид рука робота
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept