Кремниевый карбид SIC Pafer Boat

Veteksemicon SIC Pafer Boat-это основной носитель, разработанный специально для высокотемпературных полупроводниковых процессов. Используя изостатически нажатый графит в качестве подложки, этот продукт использует запатентованную технологию осаждения химического паров для формирования плотного, непористого кремниевого защитного слоя карбида на поверхности.

Этот слой плавно сочетает в себе превосходную теплопроводность графита с исключительной коррозионной стойкостью карбида кремния. Строго контролируемое покрытие достигает толщины 80-120 мкм, эффективно сопротивляясь коррозии из различных кислых и щелочных атмосфер, значительно снижая риск загрязнения металла. Он поддерживает структурную стабильность и размерную целостность даже в высокотемпературных средах, обеспечивая надежную защиту и поддержку пластин во время критических процессов, таких как окисление, диффузия и эпитаксиальный рост, эффективно продлевая срок службы пластины на более чем в три раза больше, чем у обычных графитовых лодок.

Ⅰ. Технические параметры

Ⅱ. Veteksemicon SIC Pafer Boat Advantages

• Отличная коррозионная стойкость

Покрытие SIC на лодке для вафель Veteksemicon наносится с использованием нашего запатентованного процесса высокотемпературных сердечно-сосудистых заболеваний, что приводит к плотной, равномерной структуре, которая полностью свободна от поры и трещин. Этот твердый барьер эффективно изолирует пластины из окружающей среды печи. Сильные окислительные атмосферы, фторированные соединения и другие коррозионные газы невосприимчивы к этому защитному слою. Это означает, что ваши пластины защищены от загрязнения, в то время как сама лодка остается нетронутой благодаря повторным экстремальным процессам, значительно продлевая срок службы.

• Ультра-высокая чистота материалы

Мы понимаем, что даже малейшее загрязнение может сделать целую партию пластин бесполезными. Следовательно, Veteksemicon строго контролирует сырье, используя импортированный изостатически нажатый графит с чистотой, превышающей 99,9995% в качестве субстрата. Покрытие SIC, осажденное на этом субстрате, также достигает чистоты 99,999%, с критическими примесями, такими как натрий, калий, железо и тяжелые металлы, сохранившиеся до чрезвычайно низких уровней (PPB). Эта почти интризовая чистота гарантирует, что при высоких температурах не выпускаются загрязняющие вещества, что в основном устраняет риск снижения производительности устройства из-за проблем, связанных с носителем.

• Отличная тепловая стабильность

Полупроводниковое производство требует чрезвычайно последовательных тепловых процессов. Коэффициент теплового расширения Veteksemicon Boat тщательно разработан, чтобы тесно соответствовать коэффициенту кремниевых пластин. Во время быстрого отопления и охлаждения лодка и пластина движутся синхронизированы, значительно снижая риск дефектов решетки и деформации, вызванного тепловым напряжением. Он может выдерживать непрерывные рабочие температуры до 1600 ℃, сохраняя превосходную механическую прочность и размерную стабильность даже при этих высоких температурах. Это обеспечивает повторяемость и надежность в каждом процессе, обеспечивая прочную основу для контроля толерантности при производстве чипов.

• Прочная механическая прочность

Стоимость наших продуктов заключается не только в первоначальных инвестициях, но и в долгосрочной стоимости владения. По сравнению с традиционными кварцевыми или графитными компонентами, лодки Veteksemicon SIC PAFE обеспечивают исключительную устойчивость к износу и ударов. Их высокая поверхностная твердость сопротивляется царапинам и мусору во время обработки и очистки. Эта выносливость позволяет им легко выдержать более 200 высокотемпературных циклов процессов и необходимых процедур очистки, значительно снижая затраты на закупки, затраты на запасы и время простоя оборудования, связанные с частой заменой компонентов.

• Экологическая проверка цепочки

Экологическая цепочка Veteksemicon SIC Wafer Boat охватывает сырье для производства, проходила международную стандартную сертификацию и имеет ряд запатентованных технологий для обеспечения его надежности и устойчивости в полупроводнике и новых энергетических полях.

Ⅲ. Основные поля приложения

Для получения подробных технических спецификаций, белых документов или механизмов тестирования образцов, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemicon может повысить эффективность вашего процесса.

Veteksemicon Products Warehouse