Почему покрытию SiC уделяется так много внимания? - ВеТек Полупроводник

В последние годы, с непрерывным развитием электронной промышленности,Полупроводник третьего поколенияМатериалы стали новой движущей силой для развития полупроводниковой промышленности. Как типичный представитель полупроводниковых материалов третьего поколения, SIC широко использовался в области производства полупроводников, особенно втепловое полеМатериалы, благодаря его превосходным физическим и химическим свойствам.

Итак, что именно такое SIC Coating? И что естьCVD SIC Coter?

SIC представляет собой ковалентно связанное соединение с высокой твердостью, превосходной теплопроводностью, низким коэффициентом термического расширения и высокой коррозионной стойкостью. Его теплопроводность может достигать 120-170 Вт/м · к, демонстрируя превосходную теплопроводность при рассеивании тепловой компоненты. Кроме того, коэффициент термического расширения карбида кремния составляет всего 4,0 × 10-6/K (в диапазоне 300–800 ℃), что позволяет ему поддерживать стабильность размерности в высокотемпературных средах, значительно снижая деформацию или разрушение, вызванную термической стресс Кремниевое карбидовое покрытие относится к покрытию из кремниевого карбида, приготовленного на поверхности деталей физическим или химическим осаждением пара, опрыскиванием и т. Д.  

Химическое осаждение паров (сердечно -сосудистые заболевания)в настоящее время является основной технологией для подготовки SIC покрытия на поверхностях субстрата. Основной процесс заключается в том, что газовая фаза реагенты подвергаются ряду физических и химических реакций на поверхности субстрата, и, наконец, покрытие CVD SIC осаждается на поверхности субстрата.

Данные SEM CVD SIC покрытия

Поскольку покрытие из карбида кремния настолько мощное, в каких звеньях производства полупроводников оно сыграло огромную роль? Ответ – аксессуары для производства эпитаксии.

Покрытие SIC имеет ключевое преимущество, заключающееся в том, что оно полностью соответствует процессу эпитаксиального роста с точки зрения свойств материала. Ниже приведены важные роли и причины покрытия SIC вЭпитаксиальный токоприемник с покрытием SIC:

1. Высокая теплопроводности и высокая температурная сопротивление

Температура эпитаксиальной среды роста может достигать более 1000 ℃. Покрытие SIC обладает чрезвычайно высокой теплопроводности, которая может эффективно рассеивать тепло и обеспечивать однородность температуры эпитаксиального роста.

2. Химическая стабильность

Покрытие SiC обладает превосходной химической инертностью и может противостоять коррозии агрессивными газами и химическими веществами, гарантируя, что оно не вступит в неблагоприятную реакцию с реагентами во время эпитаксиального роста и сохранит целостность и чистоту поверхности материала.

3. Согласование постоянной решетки

При эпитаксиальном росте покрытие SIC может быть хорошо сопоставлено с различными эпитаксиальными материалами из -за ее кристаллической структуры, что может значительно снизить несоответствие решетки, тем самым снижая дефекты кристаллических дефектов и улучшая качество и производительность эпитаксиального слоя.

4. Низкий коэффициент теплового расширения.

Покрытие SiC имеет низкий коэффициент теплового расширения и относительно близко к коэффициенту обычных эпитаксиальных материалов. Это означает, что при высоких температурах между основанием и покрытием SiC не будет сильных напряжений из-за разницы в коэффициентах теплового расширения, что позволяет избежать таких проблем, как отслаивание материала, трещины или деформация.

5. Высокая твердость и стойкость к износу

Покрытие SIC имеет чрезвычайно высокую твердость, поэтому покрытие его на поверхности эпитаксиального основания может значительно улучшить его сопротивление износа и продлить срок службы, обеспечивая при этом геометрия и поверхностная плоскостность основания не повреждены во время эпитаксиального процесса.

Поперечное сечение и поверхностное изображение покрытия SIC

Помимо того, что это аксессуар для эпитаксиального производства,Покрытие SiC также имеет значительные преимущества в этих областях.:

Полупроводниковые подложки：Во время полупроводниковой обработки обработка и обработка пластин требуют чрезвычайно высокой чистоты и точности. Покрытие SIC часто используется в пластинах, скобках и подносах.

Пластин

Предварительное нагревание кольцо：Кольцо предварительного нагрева расположено на внешнем кольце лотка для эпитаксиальной подложки Si и используется для калибровки и нагрева. Он помещается в реакционную камеру и не контактирует напрямую с пластиной.

  Кольцо подогрева

Верхняя полумесячная часть является носителем других аксессуаров реакционной камерыУстройство для эпитаксии SiC, который контролируется температурой и установлена ​​в реакционной камере без прямого контакта с пластиной. Нижняя полмесячная часть подключена к кварцевой трубе, которая вводит газ для управления поворотом базового. Он контролируется температурой, установлен в реакционной камере и не входит в прямой контакт с пластиной.

Верхняя часть полумесяца

Кроме того, в полупроводниковой промышленности есть плавильный запас с высокой мощностью электронные трубки, кисть, которая контактирует с регулятором напряжения, графитовым монохроматором для рентгеновского и нейтрона, различные формы графитовых субстратов и покрытие атомно-абсорбционных трубок и т. д., покрытие SiC играют все более важную роль.

Почему выбираютВеТек Полупроводник?

В VeTek Semiconductor наши производственные процессы сочетают точное машиностроение с использованием современных материалов для производства продуктов с покрытием SiC с превосходными характеристиками и долговечностью, таких какSIC, покрытый платья,Таким образом, покрытие epi щипцаУФ-светодиодный эпиприемник, Керамическое покрытие из карбида кремнияиSIC Coating Ald ReceptorПолем Мы можем удовлетворить конкретные потребности в полупроводниковой промышленности, а также в других отраслях, предоставляя клиентам высококачественное пользовательское покрытие SIC.

Если у вас есть какие-либо вопросы или вам нужна дополнительная информация, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

Электронная почта: anny@veteksemi.com