Держатель для лодок из карбида кремния высокой чистоты

Veteksemi Высоко чистота SIC Pafer Carrier является важным компонентом подшипника, используемым в отжигах печи, диффузионных печи и другого оборудования в процессе производства полупроводников. Высокая чистота SIC Pafer Carrier обычно изготовлен из карбида с высокой чистотой кремниевой карбиды и в основном включает в себя следующие детали:

• Опорный корпус для лодки: Структура, похожая на кронштейн, специально используемая для переноскикремниевые пластиныили другие полупроводниковые материалы.

• Структура поддержки: Его конструкция опорной структуры позволяет ему нести тяжелые нагрузки при высоких температурах и не будет деформировать или повреждать во время высокой температуры.

материал карбида кремния

Физические свойстваРекристаллизованный карбид кремния：

Если требования к производственному процессу выше,CVD-покрытие SiCможет быть выполнено на держателе для пластин SiC высокой чистоты, чтобы достичь чистоты более 99,99995%, что еще больше улучшает его устойчивость к высоким температурам.

Основные физические свойства покрытия CVD SIC:

Во время высокотемпературной обработки высокая чистота SIC Pafer Carrier позволяет равномерно нагревать кремниевую пластину, чтобы избежать перегрева. Кроме того, высокая температурная устойчивость карбида кремния позволяет ему поддерживать структурную стабильность при температурах 1200 ° C или даже выше.

Во время процесса диффузии или отжига кантилеверное весло и высокая чистота SIC Pafer Carrier работают вместе. Аконсольное весломедленно толкает лодочку для пластин SiC высокой чистоты, несущую кремниевую пластину, в камеру печи и останавливает ее в назначенном положении для обработки. 

Высокая чистота SIC Pafer Boat Saturier поддерживает контакт с кремниевой пластиной и фиксируется в определенном положении во время процесса термической обработки, в то время как лопасть кантилевера помогает сохранить всю структуру в правильном положении при обеспечении температурной однородности.

Держатель для вафельных лодочек из карбида кремния высокой чистоты и консольная лопасть работают вместе, чтобы обеспечить точность и стабильность высокотемпературного процесса.

Vetek Semiconductor предоставляет вам индивидуальную высокую чистоту SIC Pafer Carrier в соответствии с вашими потребностями. С нетерпением жду вашего запроса.

Это полупроводникМагазины по производству вафельных лодок высокой чистоты SiC: