Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Продукты

Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
Держатель для лодок из карбида кремния высокой чистоты

Держатель для лодок из карбида кремния высокой чистоты

Vetek Semiconductor предлагает индивидуальную высокую чистоту SIC SIC Pafer Carrier. Изготовленный из карбида с высокой чистотой кремния, он имеет слоты для удержания пластины на месте, предотвращая его скольжение во время обработки. Покрытие CVD SIC также доступно, если это необходимо. Будучи профессиональным и сильным производителем и поставщиком полупроводников, Vetek Semiconductor Sic Wafer Carrier является конкурентоспособным и высоким качеством. Vetek Semiconductor надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Высокая чистота кантилеверное весло

Высокая чистота кантилеверное весло

Vetek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком высокой чистоты кантилеров в Китае. Высокая чистота кантилевских лодок обычно используется в полупроводниковых диффузионных печи в качестве платформ переноса пластин или погрузки.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Вертикальная колонна лодка и пьедестал

Вертикальная колонна лодка и пьедестал

Вертикальная колоночная лодка для полупроводника Vetek Loat и пьедестал изготовлен из кварца или кремниевой углеродной керамики (SIC), с превосходной высокотемпературной сопротивлением, химической стабильностью и механической прочностью и является неотъемлемым основным компонентом в процессе производства полупроводника. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Смежная лодка пластины

Смежная лодка пластины

Vetek Semiconductor Competing Pafer Boat - это усовершенствованное оборудование для полупроводниковой обработки. Структура продукта тщательно разработана для обеспечения эффективной обработки и производства точности. Veteksemi поддерживает индивидуальные решения для продуктов и с нетерпением ожидает вашей консультации.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кремний на изоляторной пластине

Кремний на изоляторной пластине

Vetek Semiconductor - профессиональный китайский производитель кремния на изолятор. Кремний на изолятор пластин является важным полупроводниковым подложкой, и его превосходные характеристики продукта заставляют его играть ключевую роль в высокопроизводительных, низких мощных, высокоинтеграционных и радиочастотных приложениях. С нетерпением жду вашей консультации.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Горизонтальный перевозчик пластин SIC

Горизонтальный перевозчик пластин SIC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком направляющих колец с покрытием TaC, горизонтального держателя пластин SiC и токоприемников с покрытием SiC в Китае. Мы стремимся предоставлять безупречную техническую поддержку и лучшие решения для полупроводниковой промышленности. Добро пожаловать, свяжитесь с нами.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
Новости Рекомендации
Что такое керамика из карбида кремния?
Что такое керамика из карбида кремния?Посмотреть больше >>
Что такое ступенчато-контролируемый эпитаксиальный рост?
Что такое ступенчато-контролируемый эпитаксиальный рост?Посмотреть больше >>
Материал кремниевого карбида Эпитаксии
Материал кремниевого карбида ЭпитаксииПосмотреть больше >>
Что такое эпитаксиальная печь EPI? - ВеТек Полупроводник
Что такое эпитаксиальная печь EPI? - ВеТек ПолупроводникПосмотреть больше >>
Полупроводниковый процесс: химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
Полупроводниковый процесс: химическое осаждение из паровой фазы (CVD)Посмотреть больше >>
8-дюймовая эпитаксиальная печь SIC и исследование гомоэпитаксиального процесса
8-дюймовая эпитаксиальная печь SIC и исследование гомоэпитаксиального процессаПосмотреть больше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept