Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Продукты

Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
Вафельная лодочка из карбида кремния для горизонтальной печи

Вафельная лодочка из карбида кремния для горизонтальной печи

Лодка из карбида кремния предъявляет высокие требования к чистоте материала. Vetek Semiconductor поставляет в этот продукт рекристаллизованный карбид кремния чистотой >99,96%. VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком в Китае пластин из карбида кремния для горизонтальных печей, с многолетним опытом исследований и разработок. производство, может хорошо контролировать качество и предлагать конкурентоспособную цену. Вы можете быть уверены, что купите у нас вафельную лодочку из карбида кремния для горизонтальной печи.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC, покрытый кремниевым карбидом, лодка пластины

SIC, покрытый кремниевым карбидом, лодка пластины

SIC, покрытый кремниевым карбидом карбида, предназначена для 165 слотов для перевозки вафель. цена. Добро пожаловать на посещение нашей фабрики и дальнейшие обсуждения сотрудничества.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кремниевое карбид кантиля

Кремниевое карбид кантиля

Кремниевое карбид-карбид карбид-кантри-весло Vetek является важным компонентом в процессе производства полупроводника, особенно подходящим для диффузионных печей или печей LPCVD в высокотемпературных процессах, таких как диффузия и RTP. Наше карбид-карбид-кантри-брызги тщательно спроектировано и изготовлена ​​с превосходной высокотемпературной сопротивлением и механической прочностью, и может безопасно и надежно переносить пластины в трубку процесса в суровых условиях процесса для различных высокотемпературных процессов, таких как диффузия и RTP. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Отправляйтесь бесплатно, чтобы узнать нас.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Высокий чистый кремниевый карбид -носитель пластин

Высокий чистый кремниевый карбид -носитель пластин

Полупроводник Vetek High Pure Cleicon Carbide Carrier являются важными компонентами при обработке полупроводников, предназначенных для безопасного удержания и транспортировки деликатных кремниевых пластин, играя ключевую роль на всех этапах производства. Vetek Semiconductor High Pure Cilicon Carbide Carrier тщательно спроектированы и производятся для обеспечения превосходной производительности и надежности. Vetek Semiconductor стремится предоставлять качественные продукты по конкурентоспособным ценам, и мы с нетерпением ждем, чтобы стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Не могли бы узнать нас.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кремниевая карбисная пластина лодка

Кремниевая карбисная пластина лодка

Лодка с высокой чистотой карбидом в кремниевой пластине с высокой точкой промышленности Vetek изготовлена ​​из чрезвычайно чистого кремниевого карбида с превосходной тепловой стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Кремниевая карбидовая лодка с высокой точностью используется в применении горячей зоны в производстве полупроводников, особенно в высокотемпературных средах, и играет важную роль в защите пластин, транспортировке материалов и поддержании стабильных процессов. Vetek Semiconductor будет продолжать усердно работать над инновациями и улучшения производительности высокочистого карбидового пластинного лодки, чтобы удовлетворить развивающиеся потребности в производстве полупроводников. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Отправляйтесь бесплатно, чтобы узнать нас.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Ультра чистый кремниевый карбид порошок для роста кристаллов

Ультра чистый кремниевый карбид порошок для роста кристаллов

Vetek Semiconductor-это профессиональный производитель и поставщик, который занимается обеспечением высококачественного ультра-чистого силиконового карбида для роста кристаллов. При чистоте до 99,999% мас. Добро пожаловать, чтобы узнать и сотрудничать с нами!
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
Новости Рекомендации
Почему карбид Tantalum (TAC), превосходящее покрытие из карбида кремния (SIC) в росте монокристаллов SIC? - Vetek Semiconductor
Почему карбид Tantalum (TAC), превосходящее покрытие из карбида кремния (SIC) в росте монокристаллов SIC? - Vetek SemiconductorПосмотреть больше >>
Что такое эпитаксиальный процесс?
Что такое эпитаксиальный процесс?Посмотреть больше >>
Прорыв технологий карбида тантала, эпитаксиальное загрязнение SIC снизилось на 75%?
Прорыв технологий карбида тантала, эпитаксиальное загрязнение SIC снизилось на 75%?Посмотреть больше >>
По сообщениям, китайские компании разрабатывают 5 -нм чипы с Broadcom!
По сообщениям, китайские компании разрабатывают 5 -нм чипы с Broadcom!Посмотреть больше >>
Как покрытие SIC улучшает устойчивость к окислению углерода？
Как покрытие SIC улучшает устойчивость к окислению углерода？Посмотреть больше >>
Кремниевые карбид наноматериалов
Кремниевые карбид наноматериаловПосмотреть больше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept