Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Продукты

Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
Смежная лодка пластины

Смежная лодка пластины

Vetek Semiconductor Competing Pafer Boat - это усовершенствованное оборудование для полупроводниковой обработки. Структура продукта тщательно разработана для обеспечения эффективной обработки и производства точности. Veteksemi поддерживает индивидуальные решения для продуктов и с нетерпением ожидает вашей консультации.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кремний на изоляторной пластине

Кремний на изоляторной пластине

Vetek Semiconductor - профессиональный китайский производитель кремния на изолятор. Кремний на изолятор пластин является важным полупроводниковым подложкой, и его превосходные характеристики продукта заставляют его играть ключевую роль в высокопроизводительных, низких мощных, высокоинтеграционных и радиочастотных приложениях. С нетерпением жду вашей консультации.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Горизонтальный перевозчик пластин SIC

Горизонтальный перевозчик пластин SIC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком направляющих колец с покрытием TaC, горизонтального держателя пластин SiC и токоприемников с покрытием SiC в Китае. Мы стремимся предоставлять безупречную техническую поддержку и лучшие решения для полупроводниковой промышленности. Добро пожаловать, свяжитесь с нами.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SiC вафельная лодка

SiC вафельная лодка

Лодочка для пластин SiC используется для транспортировки пластины, в основном для процесса окисления и диффузии, чтобы обеспечить равномерное распределение температуры по поверхности пластины. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материалов SiC обеспечивают эффективную и надежную обработку полупроводников. Vetek Semiconductor стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC процессная трубка

SIC процессная трубка

VeTek Semiconductor предлагает высокопроизводительные технологические трубки SiC для производства полупроводников. Наши технологические трубы SiC превосходно справляются с процессами окисления и диффузии. Благодаря превосходному качеству и мастерству изготовления эти трубки обладают высокотемпературной стабильностью и теплопроводностью, что позволяет эффективно обрабатывать полупроводники. Мы предлагаем конкурентоспособные цены и стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Консольное весло SiC

Консольное весло SiC

Политилеверная лопасть SIC SIC Vetek Seconductor используется в термообработке для обработки и вспомогательных лодок. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материала SIC обеспечивают высокую эффективность и надежность в процессе полупроводниковой обработки. Мы стремимся предоставить высококачественные продукты по конкурентоспособным ценам и с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
Новости Рекомендации
Технологические инновации CVD за Нобелевской премией
Технологические инновации CVD за Нобелевской премиейПосмотреть больше >>
Применение термополевых материалов на основе углерода для выращивания кристаллов карбида кремния
Применение термополевых материалов на основе углерода для выращивания кристаллов карбида кремнияПосмотреть больше >>
Производство чипов: осаждение атомного слоя (ALD)
Производство чипов: осаждение атомного слоя (ALD)Посмотреть больше >>
Почему SIC покрывает ключевым основным материалом для эпитаксиального роста SIC?
Почему SIC покрывает ключевым основным материалом для эпитаксиального роста SIC?Посмотреть больше >>
Четыре самых мощных производителей графитов в мире - Vetek
Четыре самых мощных производителей графитов в мире - VetekПосмотреть больше >>
Что такое эпитаксиальный процесс?
Что такое эпитаксиальный процесс?Посмотреть больше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept