Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Продукты

Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
SiC вафельная лодка

SiC вафельная лодка

Лодочка для пластин SiC используется для транспортировки пластины, в основном для процесса окисления и диффузии, чтобы обеспечить равномерное распределение температуры по поверхности пластины. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материалов SiC обеспечивают эффективную и надежную обработку полупроводников. Vetek Semiconductor стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC процессная трубка

SIC процессная трубка

VeTek Semiconductor предлагает высокопроизводительные технологические трубки SiC для производства полупроводников. Наши технологические трубы SiC превосходно справляются с процессами окисления и диффузии. Благодаря превосходному качеству и мастерству изготовления эти трубки обладают высокотемпературной стабильностью и теплопроводностью, что позволяет эффективно обрабатывать полупроводники. Мы предлагаем конкурентоспособные цены и стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Консольное весло SiC

Консольное весло SiC

Политилеверная лопасть SIC SIC Vetek Seconductor используется в термообработке для обработки и вспомогательных лодок. Высокая температурная стабильность и высокая теплопроводность материала SIC обеспечивают высокую эффективность и надежность в процессе полупроводниковой обработки. Мы стремимся предоставить высококачественные продукты по конкурентоспособным ценам и с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Вафельная лодочка из карбида кремния для горизонтальной печи

Вафельная лодочка из карбида кремния для горизонтальной печи

Лодка из карбида кремния предъявляет высокие требования к чистоте материала. Vetek Semiconductor поставляет в этот продукт рекристаллизованный карбид кремния чистотой >99,96%. VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком в Китае пластин из карбида кремния для горизонтальных печей, с многолетним опытом исследований и разработок. производство, может хорошо контролировать качество и предлагать конкурентоспособную цену. Вы можете быть уверены, что купите у нас вафельную лодочку из карбида кремния для горизонтальной печи.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC, покрытый кремниевым карбидом, лодка пластины

SIC, покрытый кремниевым карбидом, лодка пластины

SIC, покрытый кремниевым карбидом карбида, предназначена для 165 слотов для перевозки вафель. цена. Добро пожаловать на посещение нашей фабрики и дальнейшие обсуждения сотрудничества.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Кремниевое карбид кантиля

Кремниевое карбид кантиля

Кремниевое карбид-карбид карбид-кантри-весло Vetek является важным компонентом в процессе производства полупроводника, особенно подходящим для диффузионных печей или печей LPCVD в высокотемпературных процессах, таких как диффузия и RTP. Наше карбид-карбид-кантри-брызги тщательно спроектировано и изготовлена ​​с превосходной высокотемпературной сопротивлением и механической прочностью, и может безопасно и надежно переносить пластины в трубку процесса в суровых условиях процесса для различных высокотемпературных процессов, таких как диффузия и RTP. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Отправляйтесь бесплатно, чтобы узнать нас.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
Новости Рекомендации
Как добиться высокого качества роста кристаллов? - Печь роста кристалла SIC
Как добиться высокого качества роста кристаллов? - Печь роста кристалла SICПосмотреть больше >>
Рецепт осаждения ALD -атомного слоя
Рецепт осаждения ALD -атомного слояПосмотреть больше >>
Расчет теплового поля для выращивания монокристаллов SiC
Расчет теплового поля для выращивания монокристаллов SiCПосмотреть больше >>
Исследовательское применение технологии 3D -печати в полупроводниковой промышленности
Исследовательское применение технологии 3D -печати в полупроводниковой промышленностиПосмотреть больше >>
Пористый карбид тантала: новое поколение материалов для выращивания кристаллов SiC
Пористый карбид тантала: новое поколение материалов для выращивания кристаллов SiCПосмотреть больше >>
Применение термополевых материалов на основе углерода для выращивания кристаллов карбида кремния
Применение термополевых материалов на основе углерода для выращивания кристаллов карбида кремнияПосмотреть больше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept