Керамика из карбида кремния

Наша роботизированная рука кремниевого карбида (SIC) предназначена для высокопроизводительной обработки пластин при передовом производстве полупроводников. Эта роботизированная рука, изготовленная из карбида с высокой чистотой кремния, обеспечивает исключительную устойчивость к высоким температурам, коррозии в плазме и химической атаке, обеспечивая надежную работу в требовании среды чистых комнат. Его исключительная механическая прочность и размерная стабильность обеспечивают точную обработку пластин при минимизации рисков загрязнения, что делает его идеальным выбором для MOCVD, эпитаксии, ионной имплантации и других приложений для обработки критических пластин. Мы приветствуем ваши запросы.

Veteksemicon SIC Pafer Lods широко используются в критических высокотемпературных процессах в производстве полупроводников, служащих в качестве надежных носителей для процессов окисления, диффузии и отжига для интегрированных цепей на основе кремния. Они также преуспевают в полупроводниковом секторе третьего поколения, идеально подходящим для требовательных процессов, таких как эпитаксиальный рост (EPI) и металлоорганическое химическое осаждение паров (MOCVD) для силовых устройств SIC и GAN. Они также поддерживают высокотемпературное изготовление высокоэффективных солнечных элементов в фотоэлектрической промышленности. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Veteksemicon SIC Кантилеверные весла представляют собой высокочислительную силиконовую карбид, предназначенные для обработки пластин в горизонтальных диффузионных печи и эпитаксиальных реакторов. Благодаря исключительной теплопроводности, коррозионной стойкости и механической прочности, эти весла обеспечивают стабильность и чистоту в требовании полупроводниковых сред. Доступно в пользовательских размерах и оптимизирован для длительного срока службы.

SIC Block Veteksemicon предназначен для высокоэффективного шлифования и истончения кремниевых и сапфировых пластин. При превосходной теплопроводности (≥120 Вт/м · К), высокой устойчивости к тепловым ударам и превосходной стойкости износа (MOHS ≥9) наши блоки улучшают стабильность процесса и снижают частоту изменения инструмента. Доступно в размерах от 120 мм до 480 мм, с индивидуальными опциями и быстрой доставкой для удовлетворения разнообразных производственных потребностей.

Мембраны Veteksemicon SIC являются типом неорганической мембраны и относятся к твердым мембранным материалам в технологии отделения мембраны. Мембраны SIC выпускаются при температуре выше 2000 ℃. Поверхность частиц гладкая и круглая. В опорном слое и каждом слое нет закрытых пор или каналов. Они обычно состоят из трех слоев с различными размерами пор.

Наши пористые керамические пластины SIC представляют собой пористые керамические материалы из кремниевого карбида в качестве основного компонента и обрабатываются специальными процессами. Они представляют собой необходимые материалы в производстве полупроводников, химическом осаждении паров (ССЗ) и других процессах.