Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Продукты

Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.


ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы


КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты


КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.


Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство Типичное значение
Рабочая температура (°С) 1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC > 99,96%
Si / Бесплатный контент Si < 0,1%
Объемная плотность 2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость < 16%
Сила сжатия > 600 МПа
Прочность на холодный изгиб 80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб 90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C 4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C 23  Вт/м•К
Модуль упругости 240 ГПа
Устойчивость к термическому удару Очень хорошо


View as  
 
Кремниевый пьедестал

Кремниевый пьедестал

Кремниевый пьедестал VeTek Semiconductor является ключевым компонентом в процессах диффузии и окисления полупроводников. Будучи специальной платформой для переноски кремниевых лодочек в высокотемпературных печах, Silicon Pedestal имеет множество уникальных преимуществ, включая улучшенную однородность температуры, оптимизированное качество пластин и улучшенные характеристики полупроводниковых устройств. Для получения дополнительной информации о продукте, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC Керамическое кольцо уплотнения

SIC Керамическое кольцо уплотнения

В качестве крупномасштабного завода и поставщика продуктов SIC Ceramic Seal Seal Ring в Китае Vetek Sic Ceramic Sear Cring имеет широкий спектр применений в промышленном поле из-за ее превосходной теплопроводности, выдающейся химической и коррозионной стойкости, а также высокой прочности и жесткости. Добро пожаловать в свои дальнейшие запросы.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
SIC диффузионная печь трубка

SIC диффузионная печь трубка

В качестве ведущего производителя и поставщика оборудования для диффузионной печи в Китае, диффузионной печи Vetek SIC обладает значительно высокой прочностью изгиба, превосходной устойчивостью к окислению, коррозионной стойкости, высокой устойчивости к износу и превосходными высокотемпературными механическими свойствами. Сделать его незаменимым материалом оборудования в применении диффузионной печи. Vetek Semiconductor стремится к производству и поставке высококачественной диффузионной печи SIC и приветствует ваши дальнейшие запросы.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Держатель для лодок из карбида кремния высокой чистоты

Держатель для лодок из карбида кремния высокой чистоты

Vetek Semiconductor предлагает индивидуальную высокую чистоту SIC SIC Pafer Carrier. Изготовленный из карбида с высокой чистотой кремния, он имеет слоты для удержания пластины на месте, предотвращая его скольжение во время обработки. Покрытие CVD SIC также доступно, если это необходимо. Будучи профессиональным и сильным производителем и поставщиком полупроводников, Vetek Semiconductor Sic Wafer Carrier является конкурентоспособным и высоким качеством. Vetek Semiconductor надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Высокая чистота кантилеверное весло

Высокая чистота кантилеверное весло

Vetek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком высокой чистоты кантилеров в Китае. Высокая чистота кантилевских лодок обычно используется в полупроводниковых диффузионных печи в качестве платформ переноса пластин или погрузки.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Вертикальная колонна лодка и пьедестал

Вертикальная колонна лодка и пьедестал

Вертикальная колоночная лодка для полупроводника Vetek Loat и пьедестал изготовлен из кварца или кремниевой углеродной керамики (SIC), с превосходной высокотемпературной сопротивлением, химической стабильностью и механической прочностью и является неотъемлемым основным компонентом в процессе производства полупроводника. Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.
Посмотреть больше >> Отправить запрос >>
Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
Новости Рекомендации
Добро пожаловать клиенты, чтобы посетить SIC Coating/ TAC Cotating и TAC Cotating и Epitaxy Process Processe
Добро пожаловать клиенты, чтобы посетить SIC Coating/ TAC Cotating и TAC Cotating и Epitaxy Process ProcesseПосмотреть больше >>
Принципы и технология физического покрытия осаждения пара (1/2) - Полупроводник Vetek
Принципы и технология физического покрытия осаждения пара (1/2) - Полупроводник VetekПосмотреть больше >>
Что такое горячая керамика SIC?
Что такое горячая керамика SIC?Посмотреть больше >>
История развития 3c sic
История развития 3c sicПосмотреть больше >>
Почему SIC покрывает ключевым основным материалом для эпитаксиального роста SIC?
Почему SIC покрывает ключевым основным материалом для эпитаксиального роста SIC?Посмотреть больше >>
Характеристики кремниевой эпитаксии
Характеристики кремниевой эпитаксииПосмотреть больше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept