Пористая керамическая тарелка SIC

Пористая керамическая пластина SIC - это пористый керамический материал, изготовленный изСиликоновый карбидкак основной компонент и в сочетании со специальным процессом спекания. Его пористость регулируется (обычно 30%-70%), распределение по размерам пор является равномерным, оно обладает превосходной высокотемпературной устойчивостью, химической стабильностью и превосходной проницаемостью газа и широко используется при производстве полупроводников, химическом осаждении пара (CVD), высокотемпературной газовой фильтрации и других полях.

И для получения дополнительной информации о пористой керамической пластине SIC, пожалуйста, ознакомьтесь с этим блогом.

Пористый керамический диск SICОтличные физические свойства

● Экстремальная высокотемпературная сопротивление:

Точка плавления керамики SIC достигает 2700 ° C, и она все еще может поддерживать структурную стабильность выше 1600 ° C, что намного превышает традиционную глиноземной керамику (около 2000 ° C), особенно подходящую для высокотемпературных процессов полупроводника.

● Отличная производительность теплового управления:

✔ Высокая теплопроводность: теплопроводность плотного SIC составляет около 120 Вт/(м · к). Хотя пористая структура немного снижает теплопроводность, она все еще значительно лучше, чем большинство керамики и поддерживает эффективное рассеяние тепла.

✔ Низкий коэффициент термического расширения (4,0 × 10⁻⁶/° C): почти не деформация при высокой температуре, избегая разрушения устройства, вызванного тепловым напряжением.

● Отличная химическая стабильность

Кислотная и щелочная коррозионная устойчивость (особенно выдающаяся в среде СН), высокотемпературная устойчивость к окислению, подходящая для суровых сред, таких как травление и очистка.

● Выдающиеся механические свойства

✔ Высокая твердость (твердость MOHS 9.2, второй только с бриллиантом), сильная износостойкость.

✔ Прочность на изгиб может достигать 300-400 МПа, а конструкция структуры пор учитывает как легкую, так и механическую прочность.

● Функционализированная пористая структура

✔ Высокая удельная площадь поверхности: повышение эффективности диффузии газа, подходящая в качестве распределительной пластины реакционного газа.

✔ Контролируемая пористость: оптимизируйте производительность проникновения жидкости и фильтрации, такую ​​как однородное образование пленки в процессе сердечно -сосудистых заболеваний.

Конкретная роль в производстве полупроводников

● Высокая температурная поддержка процесса и теплоизоляция

В качестве опорной пластины, она используется в высокотемпературном оборудовании (> 1200 ° C), таких как диффузионные печи и отжигающие печи, чтобы избежать металлического загрязнения.

Пористая структура имеет как изоляцию, так и функции поддержки, уменьшая потерю тепла.

● Единое распределение газа и управление реакцией

В оборудовании химического осаждения пара (CVD), в качестве пластины для распределения газа, поры используются для равномерно переноса реактивных газов (таких как SIH₄, NH₃), чтобы улучшить однородность тонкого осаждения.

В сухой травлении пористая структура оптимизирует распределение плазмы и повышает точность травления.

● Компоненты сердечника электростатического патрона (ESC)

Пористый SIC используется в качестве подложки электростатического патрона, который достигает вакуумной адсорбции через микропоры, точно исправляет пластину и устойчив к бомбардировке в плазме и имеет длительный срок службы.

● Устойчивые к коррозии компоненты

Используемый для подкладки по полости влажного травления и чистящего оборудования, он устойчив к коррозии сильной кислотой (такими как H₂SO₄, HNO₃) и сильные щелочи (такие как KOH).

● Управление единообразием теплового поля

В однокременных печи с ростом кремния (таких как метод Чокральского), в качестве теплового экрана или поддержки, его высокая тепловая стабильность используется для поддержания однородных тепловых полей и уменьшения дефектов решетки.

● Фильтрация и очистка

Пористая структура может перехватывать загрязнители частиц и используется в системах доставки газа/жидкости ультра-пласти для обеспечения чистоты процесса.

Преимущества перед традиционными материалами