Керамика из карбида кремния

VeTek Semiconductor — ваш инновационный партнер в области обработки полупроводников. Благодаря нашему обширному портфолио комбинаций материалов карбид-кремниевой керамики полупроводникового класса, возможностям производства компонентов и инженерно-техническим услугам, мы можем помочь вам преодолеть серьезные проблемы. Инженерно-техническая керамика из карбида кремния широко применяется в полупроводниковой промышленности благодаря своим исключительным характеристикам материала. Сверхчистая керамика из карбида кремния VeTek Semiconductor часто используется на протяжении всего цикла производства и обработки полупроводников.

ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предлагает компоненты из керамики, специально разработанные для периодической диффузии и требований LPCVD, включая:

• Перегородки и держатели
• Форсунки
• Вкладыши и технологические трубы
• Консольные лопасти из карбида кремния
• Вафельные кораблики и пьедесталы

Консольное весло SiC Технологические трубы SiC Технологическая трубка из карбида кремния Вертикальная вафельная лодочка из карбида кремния Горизонтальная вафельная лодочка из карбида кремния SiC Horizontals Quare вафельная лодочка Вафельный кораблик SiC LPCVD Лодка с горизонтальной пластиной SiC Керамическое уплотнительное кольцо SiC

КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

Сведите к минимуму загрязнение и внеплановое обслуживание благодаря компонентам высокой чистоты, разработанным для суровых условий плазменного травления, включая:

Кольца фокусировки

Насадки

Щиты

Душевые лейки

Окна/крышки

Другие пользовательские компоненты

КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

VeTek Semiconductor предлагает передовые компоненты материалов, специально разработанные для высокотемпературной термической обработки в полупроводниковой промышленности. Эти приложения включают RTP, Epi-процессы, диффузию, окисление и отжиг. Наша техническая керамика выдерживает термические удары, обеспечивая надежную и стабильную работу. С помощью компонентов VeTek Semiconductor производители полупроводников могут добиться эффективной и высококачественной термической обработки, способствуя общему успеху производства полупроводников.

• Диффузоры

• Изоляторы

• Суцепторы

• Другие специальные тепловые компоненты.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния
Свойство	Типичное значение
Рабочая температура (°С)	1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)
Содержание SiC / SiC	> 99,96%
Si / Бесплатный контент Si	< 0,1%
Объемная плотность	2,60-2,70 г/см3
Кажущаяся пористость	< 16%
Сила сжатия	> 600 МПа
Прочность на холодный изгиб	80-90 МПа (20°С)
Прочность на горячий изгиб	90-100 МПа (1400°С)
Тепловое расширение при 1500°C	4,70 10-6/°С
Теплопроводность при 1200°C	23 Вт/м•К
Модуль упругости	240 ГПа
Устойчивость к термическому удару	Очень хорошо

View as

Высокий чистый кремниевый карбид -носитель пластин

Полупроводник Vetek High Pure Cleicon Carbide Carrier являются важными компонентами при обработке полупроводников, предназначенных для безопасного удержания и транспортировки деликатных кремниевых пластин, играя ключевую роль на всех этапах производства. Vetek Semiconductor High Pure Cilicon Carbide Carrier тщательно спроектированы и производятся для обеспечения превосходной производительности и надежности. Vetek Semiconductor стремится предоставлять качественные продукты по конкурентоспособным ценам, и мы с нетерпением ждем, чтобы стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Не могли бы узнать нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кремниевая карбисная пластина лодка

Лодка с высокой чистотой карбидом в кремниевой пластине с высокой точкой промышленности Vetek изготовлена из чрезвычайно чистого кремниевого карбида с превосходной тепловой стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Кремниевая карбидовая лодка с высокой точностью используется в применении горячей зоны в производстве полупроводников, особенно в высокотемпературных средах, и играет важную роль в защите пластин, транспортировке материалов и поддержании стабильных процессов. Vetek Semiconductor будет продолжать усердно работать над инновациями и улучшения производительности высокочистого карбидового пластинного лодки, чтобы удовлетворить развивающиеся потребности в производстве полупроводников. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Отправляйтесь бесплатно, чтобы узнать нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Ультра чистый кремниевый карбид порошок для роста кристаллов

Vetek Semiconductor-это профессиональный производитель и поставщик, который занимается обеспечением высококачественного ультра-чистого силиконового карбида для роста кристаллов. При чистоте до 99,999% мас. Добро пожаловать, чтобы узнать и сотрудничать с нами!

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Как профессиональный производитель и поставщик Керамика из карбида кремния в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Керамика из карбида кремния, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Керамика из карбида кремния

ДИФФУЗИЯ И LPCVD-ОБРАБОТКА

КОМПОНЕНТЫ ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ

КОМПОНЕНТЫ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ И ЭПИТАКСИАЛЬНОГО ПРОЦЕССА

Высокий чистый кремниевый карбид -носитель пластин

Кремниевая карбисная пластина лодка

Ультра чистый кремниевый карбид порошок для роста кристаллов

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес