Кремниевое карбид (sic) кантилевое весло

Кремниевое карбид (sic) кантилевое весло является незаменимым ключевым компонентом в процессе обработки пластин. Это в основном часть системы транспортировки пластин. Он предпринимает важную задачу по переносу и транспортировке пластин в оборудовании, таком как высокотемпературные диффузионные печи, обеспечивая концентричность пластины и пробирку печи, а также улучшение консистенции и урожайности обработки пластин.

SIC Concilever Paddle обладает отличной высокой температурой: в среде высокой температуры до 1600 ℃, CIC Constilever Paddle все еще может поддерживать высокую прочность и стабильность, не будет деформации, повреждения и другим проблемам и может работать в течение длительного времени.

Консольная лопасть из карбида кремния изготовлена ​​из материала SiC высокой чистоты, и во время обработки пластины никакие частицы не отпадают, что позволяет избежать загрязнения поверхности пластины. Материал карбид кремния обладает высокой прочностью на изгиб, может выдерживать большие нагрузки при переноске большего количества пластин и не склонен к поломке, обеспечивая безопасность и стабильность процесса передачи пластин. Превосходная химическая стабильность SiC помогает консольной лопасти SiC противостоять коррозии, вызываемой различными химическими веществами и газами, предотвращает загрязнение пластины примесями из-за коррозии материала и продлевает срок службы продукта.

Рабочая схема консольной лопатки SiC

Характеристики продукта

● Различные размеры: Мы поставляем консольные лопатки из карбида кремния (SiC) различных размеров для удовлетворения потребностей различных типов полупроводникового оборудования и обработки пластин разных размеров.

●  Индивидуальная служба: В дополнение к стандартным продуктам спецификации, мы также можем создавать эксклюзивные решения для клиентов в соответствии с их особыми требованиями, такими как конкретный размер, форма, грузоподъемность и т. Д.

●  Огромный дизайн литья: Обычно изготавливается с использованием цельного процесса литья, включая соединительную секцию, раздел перехода и раздел подшипника. Части тесно связаны и обладают сильной целостностью, что эффективно улучшает структурную прочность и стабильность продукта и снижает риск отказа, вызванную слабыми частями соединения.

●  Усиленная структура: Некоторые продукты оснащены армирующими структурами в ключевых частях, таких как переходная сечение, такие как нижняя пластина, давление, соединительный шаг и т. Д., что дополнительно усиливает прочность соединения между переходной секцией и соединительной секцией и подшипникам. , улучшает надежность высокой чистоты кантилевого весла при ношении пластины и предотвращает такие проблемы, как перелом в переходной зоне.

●  Специальный дизайн зоны подшипника: Конструкция опорной зоны полностью учитывает размещение и теплопередачу пластины. Некоторые продукты оснащены U-образными канавками, длинными полосовыми отверстиями, прямоугольными отверстиями и другими конструкциями в зоне подшипника, что не только уменьшает вес самой зоны подшипника, но также уменьшает площадь контакта с пластиной, чтобы избежать блокировки тепла. В то же время он также может обеспечить стабильность пластины во время передачи и предотвратить ее падение.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния:

В ходе производственного процесса каждая консольная лопатка из карбида кремния (SiC) должна подвергаться строгим проверкам качества, включая проверку точности размеров, проверку внешнего вида, проверку физических свойств, проверку химической стабильности и т. д., чтобы гарантировать, что продукт соответствует высоким стандартам качества и может соответствовать требованиям. строгие требования обработки полупроводниковых пластин.

Это полупроводникпредоставляет полный спектр послепродажного обслуживания. Если у клиентов возникнут какие-либо проблемы во время использования, профессиональная команда послепродажного обслуживания своевременно отреагирует и предоставит клиентам быстрые и эффективные решения, чтобы гарантировать, что производство клиентов не пострадает.

Это полупроводникЦехи по производству консольных лопастей из карбида кремния высокой чистоты: