Керамическая пластинка из карбина кремния

Преимущества использования керамической карбиды Veteksemi Carbide Boat Boat

● Очень высокая температурная сопротивление до 3000 F (1650 ℃)

● Сверхкоррозионная стойкость к кислотам, растворителям, солям и органическим веществам, износостойкость.  

● Легко чистить

●  Высокая ударопрочность.

● Скальитесь

Производственная промышленность VeTek Semiconductor обычно обрабатывает эти пластины либо в горизонтальном, либо в вертикальном держателе пластин.

● Горизонтальный перевозчик, обычно называемый «лодочкой», имеет три или четыре горизонтально расположенных стержня, расположенных полукругом, причем каждый стержень имеет обращенные внутрь канавки, расположенные в нем через равные промежутки времени. Каждый набор канавок образует вертикальное пространство для размещения вертикально расположенной пластины.

● Вертикальный носитель, как правило, называется «вертикальная стойка», имеет три или четыре вертикально утилизированных стержня (или посты), расположенных в конструкции полукруга, при этом каждый пост с установленными в нем слоты, установленные в нем, через регулярные промежутки времени для определения пространства для поддержки горизонтально утилизированной пластины.

Чтобы обеспечить геометрическую точность, необходимую в этой области, три или четыре стержня крепятся к верхней и нижней пластинам. Части стойки между каждым пазом, называемые «зубцами», расположены на одинаковом расстоянии, чтобы поддерживать пластины через равные промежутки от нижней пластины и параллельно ей. Затем всю стойку помещают в вертикальную печь для обработки пластин.

Поскольку пластина, обработанная на вертикальной стойке, испытывает меньший температурный градиент на своей поверхности (по сравнению с пластиной, обработанной в горизонтальной лодочке), производители полупроводников все чаще обращаются к вертикальным печам. Однако у вертикального обжига есть недостаток. Пластины, расположенные на обычной вертикальной стойке, поддерживаются только за внешний край. Таким образом, области пластины, опирающиеся на эти зубцы, испытывают более высокую нагрузку, чем остальная часть пластины.

Когда температура в печи превышает примерно 1000°C, эти напряжения часто становятся значительными, и в ответ на это напряжение части монокристаллической пластины перемещаются относительно друг друга вдоль кристаллографических пластин. Это явление, называемое «скольжением», эффективно снижает ценность полупроводниковых приборов, расположенных в области пластины, где произошло скольжение.

Являясь ведущим поставщиком и производителем керамических вафельных лодочек из карбида кремния в Китае, компания VeTek Semiconductor всегда стремилась предоставлять передовые технологии и решения в области вафельных лодочек для промышленности по переработке полупроводников. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Это полупроводникЦехи по производству карбидокремниевых керамических вафельных лодочек: