Консольная лопасть из карбида кремния для обработки пластин

Общая информация о продукте

Условия сотрудничества с продуктом

Приложение: Лопатки Veteksemicon SiC являются ключевыми компонентами в передовом производстве полупроводников и предназначены для основных процессов, таких как эпитаксия силовых устройств SiC, высокотемпературный отжиг и окисление затвора для кремниевых чипов.

Услуги, которые могут быть предоставлены: анализ сценариев применения клиентов, подбор материалов, решение технических проблем.

Профиль компании:Ветексемикон имеет 2 лаборатории, команду экспертов с 20-летним опытом работы с материалами, обладающую возможностями исследований и разработок, а также производства, тестирования и проверки.

Технические параметры

Основные преимущества Veteksemi SiC Paddles

 ● Максимальная чистота, защита выхода чипов

Мы используем передовые процессы для производства сырья из карбида кремния, обеспечивая минимальное количество металлических примесей. Лопатки Veteksemi SiC эффективно подавляют осаждение примесей в высокотемпературных средах в течение длительного периода времени, предотвращая загрязнение чувствительных пластин и обеспечивая высокий выход продукции из источника.

● Превосходная термостойкость для решения экстремальных задач.

Карбид кремния сам по себе обладает устойчивостью к высоким температурам, превосходящей большинство керамических материалов. Наши лопатки легко выдерживают рабочие температуры до 1600°C, имеют чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения и демонстрируют исключительную стойкость к тепловому удару во время повторяющихся быстрых циклов нагрева и охлаждения, что сводит к минимуму риск деформации и растрескивания и продлевает срок службы.

● Чрезвычайная механическая прочность для обеспечения стабильной передачи.

Обладая чрезвычайно высокой жесткостью и твердостью, он сохраняет превосходную морфологическую стабильность даже при полной загрузке пластин. Это обеспечивает точное выравнивание пластин во время автоматического переноса, позволяя им плавно входить и выходить из печи, снижая риск поломки из-за вибрации или отклонения.

● Отличная коррозионная стойкость, увеличенный срок службы.

Лопасти VetekSemicon SiC демонстрируют высокую химическую инертность в присутствии агрессивных сред, таких как кислород и водород, обычно встречающихся в процессах окисления и диффузии, с чрезвычайно низкой скоростью поверхностной эрозии. Это обеспечивает стабильные размеры и производительность при длительном использовании, что значительно снижает общую стоимость владения.

Основные области применения

Подтверждение проверки экологической цепочки

Проверка экологической цепочки лопаток Veteksemicon SiC охватывает сырье и производство, прошла сертификацию по международным стандартам и имеет ряд запатентованных технологий, обеспечивающих ее надежность и устойчивость в полупроводниковой и новой энергетической областях.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или организации образцовых испытаний свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemicon может повысить эффективность вашего процесса.