Вакуумная печь горячего прессования для склеивания затравочных кристаллов карбида кремния

Технология склеивания затравок SiC является одним из ключевых процессов, влияющих нарост кристаллов.ВЕТЭК разработал специализированныйвакуумная печь горячего прессованиядля склеивания семян исходя из особенностей этого процесса. Печь может эффективно уменьшить различные дефекты, возникающие в процессе склеивания затравки, тем самым улучшая выход и конечное качество кристаллического слитка.

Представлять

1. Печь используется для склеивания семян передРост кристаллов SiC

2. Склеенные семена могут оставаться прочно прикрепленными при температуре 2300 ℃, сохраняя 100% адгезию без пузырьков воздуха, с высокой плоскостностью, чистой поверхностью семян и без адсорбированных примесей.

3. Нагреваемая пластина имеет форму спирального диска, равномерную зону нагрева, безопасна в использовании и проста в эксплуатации.

4. Нижняя часть нагрузочной платформы оснащена датчиками силы, точнее отображается прижимная сила на заготовке. 

Введение в функцию

1. Металлическая камера с двойными стенками и водяным охлаждением эффективно снижает температуру внешней поверхности корпуса печи, сводит к минимуму вред от высоких температур и снижает воздействие на окружающую среду.

2. Он может обеспечить автоматическое увеличение прижимной силы и силы удержания, медленную силу загрузки, а смещение может автоматически контролироваться.

3. Доступны разнообразные конфигурации вакуума, и в зависимости от процесса можно выбрать различные уровни вакуума.

4. Равномерное давление и высокая точность контроля температуры.

5. Конструкция прижимной силы имеет точную механическую конструкцию, обеспечивающую точную и стабильную прижимную силу, безопасное использование и экологичность.

6. Нижний штамп соединяется с толкателем «универсальным» способом. Это гарантирует, что когда заготовка подавлена, поверхность прижимного штампа находится под адаптивной параллелью с поверхностью нагретой пластины, обеспечивает равномерную прижимную силу на заготовку.

7. Штамп имеет функцию буферизации прижимной силы нагрузки, обеспечивая плавную и мягкую прижимную силу без ударов, тем самым предотвращая растрескивание заготовки.

9.Нагреваемая плита и штамп прижимной силы оснащены теплоизоляционным экраном для уменьшения неэффективной потери температуры.

Параметр

Особенность

1. Медленная вакуумная откачка, регулируемая скорость вакуумной откачки.

2. Большая камера, большое пространство для модернизации.

3. Штамп работает стабильно и работает автоматически.

4. Медленное снижение прижимной силы и медленное увеличение, изменение прижимной силы в соответствии с автоматическим контролем рецепта.

5. Точный программный контроль температуры и прижимной силы.

6. Параметры вакуума, прижимной силы и температуры можно свободно устанавливать в соответствии с различными процессами склеивания.

7. Соединение уплотнено и не содержит пузырьков.

8. Скорость появления трещин чрезвычайно низкая, трещин, вызванных неисправностями оборудования, практически нет.

9.Совместимость с проклейкой семян 6-12 дюймов.

10.Макс. прижимная сила: 1,6 т

11. Максимальный вакуум: 5 Па (холодный).

12. Однородность температуры нагреваемой пластины:＜±3℃,σ<4（200℃).

13. Колебание давления: <0,5%