Окисление и диффузионная печь

● Высокая температурная сопротивление (до 1600 ℃)

● Отличная теплопроводность и тепловая стабильность

● Хорошая химическая коррозионная стойкость

● Низкий коэффициент термического расширения

● Высокая сила и твердость

● Длительный срок службы

В печи с окислением и диффузией, из-за присутствия высокой температуры и коррозионных газов, многие компоненты требуют использования высокотемпературных и коррозионных материалов, среди которых кремниевый карбид (SIC) является общепринятым выбором. Ниже приведены общие компоненты карбида кремния, обнаруженные в окислительных печи и диффузионных печи:

● Ваферная лодка

Кремниевая карбисная пластина лодка представляет собой контейнер, используемый для переноски кремниевых пластин, который может выдерживать высокие температуры и не будет реагировать с кремниевыми пластинами.

● Трубка печи

Трубка печи является основным компонентом диффузионной печи, используемой для размещения кремниевых пластин и контроля реакционной среды. Кремниевые карбидные пробирки имеют отличную высокотемпературную и коррозионную стойкость.

● Перегородка

Используется для регулирования воздушного потока и распределения температуры внутри печи

● Труба защиты от термопары

Используется для защиты термопаров измерения температуры от прямого контакта с коррозионными газами.

● Консольное весло

Кремниевые карбидные лопатки консоли устойчивы к высокой температуре и коррозии и используются для транспортировки кремниевых лодок или кварцевых лодок, переносящих кремниевые пластины в диффузионные пробирки.

● Газовый инжектор

Используемый для введения реакционного газа в печь, он должен быть устойчив к высокой температуре и коррозии.

● Лодочный перевозчик

Кремниевая карбисная пластина используется для исправления и поддержки кремниевых пластин, которые имеют такие преимущества, как высокая прочность, коррозионная стойкость и хорошая структурная стабильность.

● Дверь печи

Кремниевые карбидные покрытия или компоненты также могут использоваться на внутренней стороне двери печи.

● Нагревательный элемент

Кремниевые элементы нагревания карбидов подходят для высоких температур, высокой мощности и могут быстро повысить температуру до более чем 1000 ℃.

● SIC Liner

Используемый для защиты внутренней стенки печи, это может помочь уменьшить потерю тепловой энергии и противостоять резкой среде, таких как высокая температура и высокое давление.