Окисление и диффузионная печь

Окисление и диффузионные печи используются в различных областях, таких как полупроводниковые устройства, дискретные устройства, оптоэлектронные устройства, электронные устройства, солнечные элементы и крупномасштабное производство интегрированных цепи. Они используются для таких процессов, как диффузия, окисление, отжиг, легирование и спекание пластин.

Vetek Semiconductor является ведущим производителем, специализирующимся на производстве компонентов графита с высокой точкой, кремния и кварца в окислении и диффузионных печи. Мы стремимся предоставлять высококачественные компоненты печи для полупроводниковых и фотоэлектрических отраслей, и находимся на переднем крае технологии поверхностного покрытия, таких как CVD-SIC, CVD-TAC, PyroCarbor и т. Д.

Преимущества компонентов карбида кремния Vetek полупроводникового кремния:

● Высокая температурная сопротивление (до 1600 ℃)

● Отличная теплопроводность и тепловая стабильность

● Хорошая химическая коррозионная стойкость

● Низкий коэффициент термического расширения

● Высокая сила и твердость

● Длительный срок службы

В печи с окислением и диффузией, из-за присутствия высокой температуры и коррозионных газов, многие компоненты требуют использования высокотемпературных и коррозионных материалов, среди которых кремниевый карбид (SIC) является общепринятым выбором. Ниже приведены общие компоненты карбида кремния, обнаруженные в окислительных печи и диффузионных печи:

● Ваферная лодка

Кремниевая карбисная пластина лодка представляет собой контейнер, используемый для переноски кремниевых пластин, который может выдерживать высокие температуры и не будет реагировать с кремниевыми пластинами.

● Трубка печи

Трубка печи является основным компонентом диффузионной печи, используемой для размещения кремниевых пластин и контроля реакционной среды. Кремниевые карбидные пробирки имеют отличную высокотемпературную и коррозионную стойкость.

● Перегородка

Используется для регулирования воздушного потока и распределения температуры внутри печи

● Труба защиты от термопары

Используется для защиты термопаров измерения температуры от прямого контакта с коррозионными газами.

● Консольное весло

Кремниевые карбидные лопатки консоли устойчивы к высокой температуре и коррозии и используются для транспортировки кремниевых лодок или кварцевых лодок, переносящих кремниевые пластины в диффузионные пробирки.

● Газовый инжектор

Используемый для введения реакционного газа в печь, он должен быть устойчив к высокой температуре и коррозии.

● Лодочный перевозчик

Кремниевая карбисная пластина используется для исправления и поддержки кремниевых пластин, которые имеют такие преимущества, как высокая прочность, коррозионная стойкость и хорошая структурная стабильность.

● Дверь печи

Кремниевые карбидные покрытия или компоненты также могут использоваться на внутренней стороне двери печи.

● Нагревательный элемент

Кремниевые элементы нагревания карбидов подходят для высоких температур, высокой мощности и могут быстро повысить температуру до более чем 1000 ℃.

● SIC Liner

Используемый для защиты внутренней стенки печи, это может помочь уменьшить потерю тепловой энергии и противостоять резкой среде, таких как высокая температура и высокое давление.

View as

Высокий чистый кремниевый карбид -носитель пластин

Полупроводник Vetek High Pure Cleicon Carbide Carrier являются важными компонентами при обработке полупроводников, предназначенных для безопасного удержания и транспортировки деликатных кремниевых пластин, играя ключевую роль на всех этапах производства. Vetek Semiconductor High Pure Cilicon Carbide Carrier тщательно спроектированы и производятся для обеспечения превосходной производительности и надежности. Vetek Semiconductor стремится предоставлять качественные продукты по конкурентоспособным ценам, и мы с нетерпением ждем, чтобы стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Не могли бы узнать нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Кремниевая карбисная пластина лодка

Лодка с высокой чистотой карбидом в кремниевой пластине с высокой точкой промышленности Vetek изготовлена из чрезвычайно чистого кремниевого карбида с превосходной тепловой стабильностью, механической прочностью и химической стойкостью. Кремниевая карбидовая лодка с высокой точностью используется в применении горячей зоны в производстве полупроводников, особенно в высокотемпературных средах, и играет важную роль в защите пластин, транспортировке материалов и поддержании стабильных процессов. Vetek Semiconductor будет продолжать усердно работать над инновациями и улучшения производительности высокочистого карбидового пластинного лодки, чтобы удовлетворить развивающиеся потребности в производстве полупроводников. Мы с нетерпением ждем возможности стать вашим долгосрочным партнером в Китае. Отправляйтесь бесплатно, чтобы узнать нас.

Посмотреть больше >> Отправить запрос >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Как профессиональный производитель и поставщик Окисление и диффузионная печь в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Окисление и диффузионная печь, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Электронная почта
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

Веб-меню

Поиск продукта

Язык

Выход из меню

Окисление и диффузионная печь

Преимущества компонентов карбида кремния Vetek полупроводникового кремния:

Высокий чистый кремниевый карбид -носитель пластин

Кремниевая карбисная пластина лодка

Отправить запрос

QR код

О нас

Продукты

Контакты

Телефон

Факс

Электронная почта

Адрес