Продукты

Окисление и диффузионная печь

Окисление и диффузионные печи используются в различных областях, таких как полупроводниковые устройства, дискретные устройства, оптоэлектронные устройства, электронные устройства, солнечные элементы и крупномасштабное производство интегрированных цепи. Они используются для таких процессов, как диффузия, окисление, отжиг, легирование и спекание пластин.


Vetek Semiconductor является ведущим производителем, специализирующимся на производстве компонентов графита с высокой точкой, кремния и кварца в окислении и диффузионных печи. Мы стремимся предоставлять высококачественные компоненты печи для полупроводниковых и фотоэлектрических отраслей, и находимся на переднем крае технологии поверхностного покрытия, таких как CVD-SIC, CVD-TAC, PyroCarbor и т. Д.


Преимущества компонентов карбида кремния Vetek полупроводникового кремния:

● Высокая температурная сопротивление (до 1600 ℃)

● Отличная теплопроводность и тепловая стабильность

● Хорошая химическая коррозионная стойкость

● Низкий коэффициент термического расширения

● Высокая сила и твердость

● Длительный срок службы


В печи с окислением и диффузией, из-за присутствия высокой температуры и коррозионных газов, многие компоненты требуют использования высокотемпературных и коррозионных материалов, среди которых кремниевый карбид (SIC) является общепринятым выбором. Ниже приведены общие компоненты карбида кремния, обнаруженные в окислительных печи и диффузионных печи:



● Ваферная лодка

Кремниевая карбисная пластина лодка представляет собой контейнер, используемый для переноски кремниевых пластин, который может выдерживать высокие температуры и не будет реагировать с кремниевыми пластинами.


● Трубка печи

Трубка печи является основным компонентом диффузионной печи, используемой для размещения кремниевых пластин и контроля реакционной среды. Кремниевые карбидные пробирки имеют отличную высокотемпературную и коррозионную стойкость.


● Перегородка

Используется для регулирования воздушного потока и распределения температуры внутри печи


● Труба защиты от термопары

Используется для защиты термопаров измерения температуры от прямого контакта с коррозионными газами.


● Консольное весло

Кремниевые карбидные лопатки консоли устойчивы к высокой температуре и коррозии и используются для транспортировки кремниевых лодок или кварцевых лодок, переносящих кремниевые пластины в диффузионные пробирки.


● Газовый инжектор

Используемый для введения реакционного газа в печь, он должен быть устойчив к высокой температуре и коррозии.


● Лодочный перевозчик

Кремниевая карбисная пластина используется для исправления и поддержки кремниевых пластин, которые имеют такие преимущества, как высокая прочность, коррозионная стойкость и хорошая структурная стабильность.


● Дверь печи

Кремниевые карбидные покрытия или компоненты также могут использоваться на внутренней стороне двери печи.


● Нагревательный элемент

Кремниевые элементы нагревания карбидов подходят для высоких температур, высокой мощности и могут быстро повысить температуру до более чем 1000 ℃.


● SIC Liner

Используемый для защиты внутренней стенки печи, это может помочь уменьшить потерю тепловой энергии и противостоять резкой среде, таких как высокая температура и высокое давление.

View as  
 
Керамическая пластинка из карбина кремния

Керамическая пластинка из карбина кремния

VeTek Semiconductor специализируется на поставке высококачественных лодочек для пластин, пьедесталов и нестандартных держателей пластин в вертикальной/колонной и горизонтальной конфигурациях для удовлетворения различных требований полупроводникового процесса. Являясь ведущим производителем и поставщиком покрывающих пленок из карбида кремния, наши керамические пластины из карбида кремния пользуются популярностью на европейском и американском рынках благодаря своей высокой экономической эффективности и превосходному качеству, а также широко используются в передовых процессах производства полупроводников. VeTek Semiconductor стремится установить долгосрочные и стабильные отношения сотрудничества с клиентами по всему миру и особенно надеется стать вашим надежным партнером по производству полупроводников в Китае.
Кремниевое карбид (sic) кантилевое весло

Кремниевое карбид (sic) кантилевое весло

Роль карбида из кремниевого карбида (SIC) в полупроводниковой промышленности заключается в поддержке и транспортировке пластин. В высокотемпературных процессах, таких как диффузия и окисление, SIC Constlever Baddle может стабильно нести лодки и пластины без деформации или повреждения из-за высокой температуры, обеспечивая плавный прогресс процесса. Создание диффузии, окисления и других процессов более однородными, имеет решающее значение для улучшения консистенции и выхода обработки пластин. Vetek Semiconductor использует передовые технологии для построения кантилевого весла SIC с силиконовым карбидом высокой чистоты, чтобы гарантировать, что пластики не будут загрязнены. Vetek Semiconductor с нетерпением ждет долгосрочного сотрудничества с вами на кремниевых карбидах (SIC) консольных продуктах.
Кварцевый тигель

Кварцевый тигель

VeTek Semiconductor является ведущим поставщиком и производителем кварцевых тиглей в Китае. Кварцевые тигли, которые мы производим, в основном используются в полупроводниковой и фотоэлектрической областях. Они обладают свойствами чистоты и высокой термостойкости. А наш кварцевый тигель для полупроводников поддерживает производственные процессы вытягивания кремниевых стержней, загрузки и разгрузки поликремниевого сырья в процессе производства полупроводниковых кремниевых пластин и является ключевыми расходными материалами для производства кремниевых пластин. VeTek Semiconductor надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Носитель пластин из карбида кремния

Носитель пластин из карбида кремния

Являясь профессиональным поставщиком подложек из карбида кремния в Китае, компания VeTek Semiconductor SiC подложек представляет собой инструмент, специально используемый для перемещения и обработки полупроводниковых пластин, который играет незаменимую роль в процессе изготовления полупроводниковых пластин. Добро пожаловать на дальнейшую консультацию.
Кремниевый пьедестал

Кремниевый пьедестал

Кремниевый пьедестал VeTek Semiconductor является ключевым компонентом в процессах диффузии и окисления полупроводников. Будучи специальной платформой для переноски кремниевых лодочек в высокотемпературных печах, Silicon Pedestal имеет множество уникальных преимуществ, включая улучшенную однородность температуры, оптимизированное качество пластин и улучшенные характеристики полупроводниковых устройств. Для получения дополнительной информации о продукте, пожалуйста, свяжитесь с нами.
SIC Керамическое кольцо уплотнения

SIC Керамическое кольцо уплотнения

В качестве крупномасштабного завода и поставщика продуктов SIC Ceramic Seal Seal Ring в Китае Vetek Sic Ceramic Sear Cring имеет широкий спектр применений в промышленном поле из-за ее превосходной теплопроводности, выдающейся химической и коррозионной стойкости, а также высокой прочности и жесткости. Добро пожаловать в свои дальнейшие запросы.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Как профессиональный производитель и поставщик Окисление и диффузионная печь в Китае, у нас есть собственная фабрика. Если вам нужны индивидуальные услуги для удовлетворения конкретных потребностей вашего региона или вы хотите купить расширенные и долговечные Окисление и диффузионная печь, сделанные в Китае, вы можете оставить нам сообщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept