Окислительная и диффузионная печь

Печи окисления и диффузии используются в различных областях, таких как полупроводниковые устройства, дискретные устройства, оптоэлектронные устройства, силовые электронные устройства, солнечные элементы и производство крупномасштабных интегральных схем. Они используются для таких процессов, как диффузия, окисление, отжиг, легирование и спекание пластин.

VeTek Semiconductor — ведущий производитель, специализирующийся на производстве компонентов из графита, карбида кремния и кварца высокой чистоты в окислительных и диффузионных печах. Мы стремимся поставлять высококачественные компоненты печей для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности и находимся на переднем крае технологий нанесения покрытий на поверхность, таких как CVD-SiC, CVD-TaC, пироуглерод и т. д.

Преимущества карбидокремниевых компонентов VeTek Semiconductor:

Высокая термостойкость (до 1600 ℃)

Отличная теплопроводность и термическая стабильность.

Хорошая стойкость к химической коррозии

Низкий коэффициент теплового расширения

Высокая прочность и твердость

Длительный срок службы

В печах окисления и диффузии из-за присутствия высокой температуры и агрессивных газов многие компоненты требуют использования жаропрочных и коррозионностойких материалов, среди которых обычно используется карбид кремния (SiC). Ниже приведены распространенные компоненты карбида кремния, используемые в окислительных и диффузионных печах:

Вафельная Лодочка

Лодочка для пластин из карбида кремния — это контейнер, используемый для перевозки кремниевых пластин, который выдерживает высокие температуры и не вступает в реакцию с кремниевыми пластинами.

Печная трубка

Печная труба является основным компонентом диффузионной печи, используемой для размещения кремниевых пластин и контроля реакционной среды. Печные трубы из карбида кремния обладают превосходными характеристиками устойчивости к высоким температурам и коррозии.

Перегородка

Используется для регулирования потока воздуха и распределения температуры внутри печи.

Защитная трубка термопары

Используется для защиты термопар, измеряющих температуру, от прямого контакта с агрессивными газами.

Консольное весло

Консольные лопасти из карбида кремния устойчивы к высоким температурам и коррозии и используются для транспортировки кремниевых или кварцевых лодочек, несущих кремниевые пластины, в трубы диффузионной печи.

Газовый инжектор

Используемый для подачи реакционного газа в печь, он должен быть устойчивым к высоким температурам и коррозии.

Перевозчик лодок

Лодочный держатель для пластин из карбида кремния используется для фиксации и поддержки кремниевых пластин, которые обладают такими преимуществами, как высокая прочность, коррозионная стойкость и хорошая структурная стабильность.

Дверца печи

Покрытия или компоненты из карбида кремния также могут быть использованы на внутренней стороне дверцы печи.

Нагревательный элемент

Нагревательные элементы из карбида кремния подходят для высоких температур, высокой мощности и могут быстро поднимать температуру до более чем 1000 ℃.

SiC-лайнер

Используемый для защиты внутренней стенки печных труб, он может помочь уменьшить потери тепловой энергии и выдерживать суровые условия, такие как высокая температура и высокое давление.