Твердый карбид кремния

Твердый карбид кремния VeTek Semiconductor является важным керамическим компонентом оборудования для плазменного травления, твердым карбидом кремния (Карбид кремния CVD) части травильного оборудования включают в себякольца фокусировки, газовая насадка, лоток, краевые кольца и т. д. Благодаря низкой реакционной способности и проводимости твердого карбида кремния (CVD-карбида кремния) к хлор- и фторсодержащим травильным газам он является идеальным материалом для фокусирующих колец оборудования плазменного травления и других компоненты.

Например, кольцо фокусировки является важной частью, расположенной снаружи пластины и в непосредственном контакте с пластиной, путем подачи напряжения на кольцо для фокусировки плазмы, проходящей через кольцо, тем самым фокусируя плазму на пластине, чтобы улучшить однородность обработка. Традиционное кольцо фокусировки изготовлено из кремния иликварц, проводящий кремний как обычный материал фокусирующего кольца, он почти близок к проводимости кремниевых пластин, но недостаток заключается в плохой стойкости к травлению во фторсодержащей плазме, материалы для травления деталей машин, часто используемые в течение определенного периода времени, будут серьезными Явление коррозии, серьезно снижающее эффективность производства.

Sстарое кольцо фокусировки из карбида кремнияПринцип работы：

Сравнение фокусировочного кольца на основе Si и фокусировочного кольца CVD SiC: