Сплошная головка для душа в форме диска SIC

Роль сплошной дисковой душевой головки в форме диска в процессе сердечно-сосудистых заболеваний состоит в том, чтобы равномерно распределить реакционный газ над площадью осаждения, чтобы газ мог быть равномерно диффундировать по всему реактору, чтобы получить плоскую и равномерную пленку.

Сплошная головка для душа SIC расположена в верхней части печи CVD или возле газового входа. Реакционный газ попадает в конструкцию в форме диска через отверстия, распределенные на головке для душа, и диффундирует вокруг поверхности головки душа. Через множественную конструкцию канала и равномерно распределенные розетки реакционный газ может равномерно протекать ко всей области реактора, избегать концентрации или турбулентности, и обеспечивая консистенцию толщины слоя, нанесенной на подложку.

В то же время структура душевой головки в форме полупроводникового диска также имеет диффузионный эффект, который может эффективно снизить скорость потока газа, чтобы ее можно было равномерно диффундировать на выходе сопла и уменьшить влияние локальных изменений потока газа на эффект осаждения. Это помогает избежать прямого воздействия газа на субстрат и предотвратить проблему неравномерного осаждения.

С точки зрения материалов, сплошная газовая насадка SIC изготовлена ​​из высокотемпературной, устойчивой к коррозии и высокопрочной твердым материала SIC с очень высокой стабильностью. Он может работать в течение долгого времени в печи CVD и имеет длительный срок службы.

Vetek Semiconductor предоставляет высококачественные индивидуальные услуги. Форма и расположение отверстий твердой дисковой головки в форме диска SIC могут гибко отрегулировать в соответствии с требованиями процесса клиента, чтобы адаптироваться к различным типам газа, скоростям потока и материалам осаждения. Для различных размеров реакторов или размеров субстрата дискообразные насаждения душа с различными диаметрами и распределением отверстий могут быть настроены для оптимизации эффекта распределения газа.

Vetek Semiconductor имеет зрелые процессы и передовые технологии для твердых продуктов для полупроводникового душа SIC, помогая большому количеству клиентов достичь непрерывного прогресса в процессах сердечно -сосудистых заболеваний. Vetek Semiconductor надеется стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Физические свойства твердого SIC

Это полупроводникСплошные магазины дисков в форме дисков в форме дисков