Продукты
Сплошной авианоситель SIC
  • Сплошной авианоситель SICСплошной авианоситель SIC

Сплошной авианоситель SIC

Сплошная пластинка Vetek Seconductor предназначена для высокотемпературных и коррозионных средах в полупроводниковых эпитаксиальных процессах и подходит для всех типов процессов производства пластин с высокой чистотой. Vetek Semiconductor является ведущим поставщиком перевозчиков пластин в Китае и с нетерпением ждет возможности стать вашим долгосрочным партнером в полупроводниковой промышленности.

Твердый носитель пластин SIC - это компонент, изготовленный для высокой температуры, высокого давления и коррозийной среды эпитаксиального процесса полупроводника, и подходит для различных процессов производства пластин с высокой чистотой. 


Сплошная пластина SIC покрывает край пластины, защищает пластину и точно позиционирует ее, обеспечивая рост высококачественных эпитаксиальных слоев. Материалы SIC широко используются в таких процессах, как эпитаксия жидкой фазы (LPE), химическое осаждение пара (ССЗ) и металлическое осаждение пара (MOCVD) из -за их превосходной тепловой стабильности, коррозионной стойкости и выдающейся термической проводимости. Сплошная пластина SIC Vetek Semiconductor была проверена во множественных суровых условиях и может эффективно обеспечить стабильность и эффективность процесса эпитаксиального роста пластины.


Vapor-phase epitaxial growth method


Твердый носитель пластин SICОсобенности продукта


● Ультра-высокая стабильность температурыСплошные носители SIC могут оставаться стабильными при температуре до 1500 ° C и не подвержены деформации или растрескиванию.


● Отличная химическая коррозионная устойчивостьИспользуя высокоточные кремниевые карбидные материалы, он может противостоять коррозии от различных химических веществ, включая сильные кислоты, сильные щелочки и коррозионные газы, продлевая срок службы носителя пластин.

● Высокая теплопроводностьСплошные носители SIC имеют отличную теплопроводность и могут быстро и равномерно диспергировать тепло во время процесса, помогая поддерживать стабильность температуры пластины и улучшить однородность и качество эпитаксиального слоя.


● Низкая генерация частицМатериалы SIC имеют естественную низкую характеристику генерации частиц, которая снижает риск загрязнения и может соответствовать строгим требованиям полупроводниковой промышленности для высокой чистоты.


Технические спецификации:


Параметр Описание
Материал
Твердый кремниевый карбид с высоким содержанием чистоты
Применимый размер пластины
4-дюймовый 6-дюймовый, 8-дюймовый, 12-дюймовый (настраиваемый)
Максимальная температура
До 1500 ° C.
Химическая устойчивость
Устойчивость к кислоте и щелочи, коррозионная устойчивость
Теплопроводность
250 Вт/(м · к)
Скорость генерации частиц
Ультра-низкое образование частиц, подходящее для требований к высокой чистоте
Параметры настройки
Размер, форма и другие технические параметры могут быть настроены по мере необходимости

Почему выбираютЭто полупроводникСплошное кольцо подложки SIC пластина?


● Надежность: После строгого тестирования и фактической проверки конечными клиентами это может обеспечить долгосрочную и стабильную поддержку в экстремальных условиях и снизить риск перерыва процесса.


● Высококачественные материалы: Сделано из материалов SIC высочайшего качества, гарантируйте, что каждый твердый перевозчик SIC Pafer соответствует высоким стандартам отрасли.


● Служба настройки: Поддержка настройки нескольких спецификаций и технических требований для удовлетворения конкретных потребностей процесса.


Если вам нужно больше информации о продукте или для размещения заказа, пожалуйста, свяжитесь с нами. Мы будем предоставлять профессиональные консультации и решения на основе ваших конкретных потребностей, чтобы помочь вам повысить эффективность производства и снизить затраты на техническое обслуживание.


SIC SIC SIC PAFER SHOPER SHOPS:

Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment


Горячие Теги: Сплошной авианоситель SIC
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept